周密制造和特种制造.pptVIP

加工 特点 能够极其细微地聚焦 电子束能量密度很高 生产率很高 控制方便，容易实现自动化 对环境无污染，加工表面化学纯度高 加工材料范围广泛 设备投资大，应用有一定的局限性 在极微细束斑上能达到106~109W/cm2 能加工小深孔（深径比10:1） 高速 打孔 最小直径可达0.003 mm左右 已在航空航天、电子、化纤以及制革等工业生产中得到广泛应用 可加工玻璃、陶瓷、宝石等脆性材料 电子束加工的应用 加工弯 孔、型面和 特殊面 加工喷丝头异型孔、复杂型面、锥孔、斜孔，甚至加工弯孔和曲面 加工喷丝头 异形孔 加工曲面 加工弯孔 加工 原理 在真空条件下，将由离子源产生的离子经过电场加速，获得具有一定速度的离子投射到材料表面，产生溅射效应和注入效应 离子束加工原理及特点 由于离子带正电荷，离子质量是电子的数千倍或数万倍，所以离子一旦获得加速，则能具有比电子束大得多的撞击动能，离子束是靠机械撞击动能来加工的 离子束加工 加工 特点 高精度：离子束流密度和离子能量可以精确控制，加工精度可达纳米级，是所有特种加工方法中最精密、最微细的加工方法 高纯度、无污染：在真空中进行，所以污染少、纯度高 宏观压力小：靠离子轰击材料表面的原子，加工应力、热变形等极小，加工质量高，适用于各种材料和低刚度零件的加工 成本高、效率低：设备费用高，生产成本也高，而且加工效率低 * * * 超声波加工 频率超过16000Hz的声波称为超声波 超声波能传递很强的能量 当超声波经过液体介质传播时，将以极高的频率压迫液体质点振动，在液体介质中连续地形成压缩和稀疏区域，由于液体基本上不可压缩，由此产生压力正、负交变的液压冲击和空化现象，从而引起固体物质分散、破碎等效应 通过不同介质时，在界面上发生波速突变，产生波的反射和折射现象 超声波加工的原理 超声波的特性 在液体介质中传播时，在界面上产生 液压冲击 空化现象 形成真空，产生气泡 空泡闭合，形成压力 高频上下运动： f ＞16kHz 利用超声波的特性进行加工的工艺称为超声加工 超声加工是利用工具端面作超声振动，通过磨料悬浮液加工脆硬材料的 超声加工是磨粒在超声振动作用下的机械撞击和抛磨作用以及超声空化作用的综合结果，磨粒的撞击作用是主要的 超声加工是基于局部撞击作用，因此越是脆硬的材料，越易进行超声加工。而选择工具材料时则应使之既能撞击磨拉，又不致使自身受到破坏 超声加工原理图 加工精度高、表面粗糙度小、加工质量好 工具和工件无需复杂的相对运动，超声加工机床结构简单 工件表面宏观切削力很小，切削应力、切削热很小，不会引起变形和烧伤 适合加工各种硬脆材料，特别是不导电的非金属材料 超声波加工的特点 工具可用软材料 超声加工设备包括超声发生器、 超声振动系统、 机床本体、 磨料、 工作液循环系统 超声加工机床 超声波加工装置的构成及关键部件 超声波 发生器 作用是将工频交流电转变为有一定功率输出的超声频电振荡，以提供工具端面往复振动和去除被加工材料的能量 基本要求：输出功率和频率在一定范围内连续可调，最好能具有对共振频率自动跟踪和自动微调的功能；还要求结构简单、工作可靠、价格便宜、体积小等 有电子管式、晶体管式 作用 高频电振荡→机械能 换能器长度= kλ/2 种类 压电效应式 磁致伸缩式 超声换能器 换能器 将高频电能转变为机械能，使工具端面作高频率小振幅的振动以进行加工 压电陶瓷换能器 磁致伸缩换能器 ——镍棒长度应等于 超声波半波长或其 整数倍，使之处于 共振状态（20kHz 的换能器，其长度 为125mm） 几种变幅杆 声学头的固定—— 选择振幅为零的波节点 工具：45＃钢等韧性材料 磨料工 作液及其 循环系统 磨料可以靠人工输送和更换，也可利用小型离心泵注入 工作液常用的是水；为了提高表面质量，有时也用煤油或机油 磨料常用碳化硼、碳化硅或氧化铝等 加工 型孔、型腔 主要用于对脆硬材料加工圆孔、型孔、型腔、套料、微细孔等 加工圆孔、 加工型腔 超声波加工的应用 加工异形孔、套料加工、加工微细孔 切割 加工 用普通机械加工切割脆硬的半导体材料很困难，采用超声切割较为有效 超声切割 单晶硅片 软钢刃刀片， 厚度0.127mm， 间