SiHCl_3氢还原过程的热力学分析.pdfVIP

第39卷 第 11期 化 学 工 程 Vo1．39No．11 2011年 11月 CHEMICALENGINEERING(CHINA) NOV．2011 SiHC13氢还原过程的热力学分析 何 恩 ，谢 刚 ，侯彦青 ，林 艳 ，俞小花 (1．昆明理工大学 冶金与能源工程学院，云南 昆明 650093； 2．云南冶金集团总公司 技术中心，云南 昆明 650031) 摘要 ：应用相关热力学数据研究了改 良西 门子法还原炉内涉及到的 “Si—Cl—H”三元系复杂化学反应，进一 步研究了温度 、压强和初始进料摩尔比n(H：)／n(SiHC1，)对硅产率的影响，拟合得到硅产率随这些影响因素 的变化图。通过分析得到：在低压、高温以及相对较大的初始进料比条件下 ，对 SiHCI，氢还原过程更有利 ，硅 产率也相对较高。并绘制了在初始进料 比为 15和压强为 150kPa的条件下，体系内平衡气相组分随温度的 变化图。最后确定了最佳操作条件为 ：T：1425K，n(H2)：n(SiHCI)=15，P=1．5kPa。在此条件下，硅的 产率为 34．815％。 关键词 ：热力学；多晶硅；改良西门子法；硅产率 中图分类号：O642．4 文献标识码：A 文章编号：1005-9954(2011)11-0039-05 ThermodynamicanalysisofSiHCI3hydrogenreductionprocess HEEn ，XIE Gang ，HOU Yan-qing ，LIN Yan ，YU Xiao-hua (1．FacuhyofMetallurgicalandFnergyEngineering，KunmingUniversityofScienceandTechnology， Kunming650093，Yunnan Province，China；2．TechnologyCenterofYunnanMetalluryg GroupCo．，Kunming650031，YunnanProvince，China) Abstract：ThecomplexchemicalreactieBSin theSi·C·1-·H system withrelationtomodifiedSiemensprocesswere studiedbasedonthethermodynamicdataofrelatedsubstance．Andtheinfluenceofthetemperature，pressureand initialfeedmoleration(H2)／n(SiHC13)onthesiliconyieldwasinvestigated．Thediagramsofthesiliconyieldas afunctionoftemperature，pressureandinitial feedratiowereplotted，respectively．Th esiliconyieldisrelatively highathightemperature，lowpressure-andbiginitialfeedration(H2)／n(SiHC13)intheSiHC13hydrogen reductionsystem．Thegasequilibrium 一~ompositiondiargamswereplottedasafunctionoftemperaturewhenthe initialfeedration(H2)／n(SiHC13)is15andthepressureis150kPa．Underhteoptimumconditionsof1425K， 150kPaandtheinitial feedmoleratioof15，theyieldofsiliconis34．815％． Keywords：thermodynamics；polysilicon；modifiedSiemensprocess；siliconyield