多晶硅行业生产节能有效途径探讨.pdf

第41卷 第3期 化 学 工 程 Vo1．41No．3 2013年 3月 CHEMICALENGINEERING(CHINA) Mar．2013 多晶硅行业生产节能有效途径探讨 柯曾鹏，杨志国，刘继三 (华陆工程科技有限责任公司，陕西 西安 710065) 摘要：为了进一步降低多晶硅企业的生产成本，提高其市场竞争力 ，针对 目前国内外改 良西门子法生产多晶硅的主 要装置工艺进行了考察。通过对多晶硅生产中工艺装置的能耗分析 ，从能量耦合利用、能量回收综合利用和新高 效节能工艺的角度出发，提出采用多效精馏、还原热能综合利用系统和冷氢化工艺来代替原有多晶硅的生产工艺。 结果表明：通过采取上述措施后 ，能够大幅度降低多晶硅行业的生产成本，为今后再建多晶硅企业和挖潜改造提供 一 定的指导作用。 关键词：多晶硅 ；多效精馏；热能利用；冷氢化 中图分类号：TQ110．6 文献标识码：A 文章编号：1005-9954(2013)03-0075-04 DoI：10．3969／j．issn．1005-9954．2013．03．018 Discussion on energy-savingmeasuresinpolysiliconplants KE Zeng-peng，YANG Zhi-guo，LIUJi-san (HualuEngineeringandTechnologyCo．，Ltd．，Xian710065，ShaanxiProvince，China) Abstract：In ordertoreducethecostofpolysiliconproduction and enhance itsmarketcompetition，themain polysiliconprocessofimprovedSiemensapproachindomesticandoverseaswasinvestigated．Based0ntheanalysis ofenergyconsumptioninmainplantsofpolysilicon，suchaseneryg couplinguse，comprehensiveutilizationofeneryg recovery，andnew high efficiencyandenergysavingtechnoloyg ，SOmulti—effectdistillation，reducingheatenergy comprehensiveutilization system，and cold hydrogenation processwereused toreplace the existingpolysilicon productionprocess．Theresultsshow thatthesemeasurementscansaveeneryg andreducepolysiliconcostgreatly， thusprovidingguidanceforpolysiliconplantsreconstructionandtransformationinthefuture． Keywords：polysilicon；multi—effectdistillation；themr aleneryg utilization；coldhydrogenation 多晶硅是制造集成电路衬底和各种半导体器件 不断消耗，太阳能光伏行业技术水平的提高，多晶硅 的单晶硅、太阳能电池等产品的主要原料。多晶硅 市场前景仍被业内人士看好，未来多晶硅行业的竞 可以用于制备单晶硅，广泛用于半导体工业中，作为 争将成为多晶硅先进技术及生产成本的竞争。因此 人工智能、自动控制、信息处理、光电转换等器件的 非常有必要对已建成的、在建和拟建的多晶硅企业 基础材料。同时，由于能源危机和环境保护的要求， 的生产技术进行节能降耗的再分析研究甚至挖潜改 全球正积