Pvd涂层概述;真空基础知识;涂层与衬底的界面形态与结合机理;PVD涂层前通过喷砂(涂层前处理)和刻蚀(涂层工艺的一个步骤)一方面对产品表面起到清洁作用,另一方面提高了工件表面的微观粗糙度,改善了界面结合状态,有利于提高界面结合。;真空和低压气体环境;低压等离子工艺环境;与PVD相关的低温等离子体的概述;辉光放电;PVD涂层物质;TiCN(氮碳化钛)
Tin (氮化钛)
CrN(氮化铬)
TiAlN AlTiN
(氮化钛铝、氮铝化钛)
TiCN(氮碳化钛)
TiAlCrN(氮化钛铝铬)
AlCrN(氮化铬铝)
TiAlSiN 等;涂层种类;涂层的应用;;PVD涂层结构;PVD涂层结构演变趋势;涂层内应力状态;PVD涂层工艺曲线
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