大口径SiC轻量化主镜热变形的定标.pdfVIP

第 2o卷 第 6期 光学 精密工程 Vol_2O No．6 2012年 6月 OpticsandPrecisionEngineering Jun．2012 文章编 号 1004—924X(2O12)O6—1243—07 大 口径 SiC轻量化主镜热变形的定标 吴小霞 ，王鸣浩，明 名，王富国 (中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林 长春 130033) 摘要 ：为 了准确地预算 出大 口径 SiC轻量化主镜镜面的温度变形，研究了不 同热模式下 SiC轻量化主镜镜面面形的定标 和计算方法 。将 SiC轻量化主镜上 的温度传感器在轴 向厚度方 向上进行分层处理，对每层上 的温度分布采用准 Zernike 多项式进行拟合 。以4mSiC轻量化主镜为例 ，采用有限元法分别对准 Zernike前 9项温度模式(18种温度场)下的镜面 变形进行定标计算，得出各种单位载荷作用下轻量化主镜镜面的最大变形以及面形误差 PV值和 RMS值。计算结果表 明：准 Zernike第一项模式、单位载荷作用下镜面变形最大，其面形误差RMS为 278．3nm。采用最小二乘法对各种温差 场下的镜面误差进行准 Zernike多项式拟合，获得了准 Zernike像差项的系数。采用最小二乘法拟合计算出镜面变形误 差产生的准 Zernike像差项的系数，结果表明，18种温度场下产生的像差形式主要有：平移、倾斜、离焦、彗差和像散。 关 键 词 ：大口径主镜 ；SiC轻量化主镜 ；热变形 ；定标 ；准Zernike多项式 中图分类号 ：TH751 文献标识码 ：A doi：10．3788／OPE1243 Calibrationofthermaldistortion forlarge apertureSiC lightweightmirror W uXiao—xia ，W ANG Ming—hao，MING Ming，W ANG Fu—guo (ChangchunInstituteofOptics，FineMechanicsandPhysics， ChineseAcademyofSciences，Changchun130033，China) *C0，．rs0 gauthor，E-mail：wwxiaoxia@sohu．com Abstract：ToestimatethethermaldistortionofalargeapertureSiC lightweightprimarymirrorexact- ly，thecalibrationandcalculationmethodsfortheSiC lightweightmirrorwereresearchedindifferent thermalmodes．Temperaturesensorsstuckonthelightweightmirrorweredividedintothreelevelsa— longanopticaxialdirection，andthetemperaturesateachlevelwerefittedbyquasi—Zernikepolynomi— als，respectively．Bytakinga4m SiC lightweightmirrorforan example，theFiniteElementM ethod (FEM )builtbyM SC．Patranwasusedtocalibrateandcalculatethetherma1distortion in eighteen kindtemperaturefieldsofthefirstninthquasi—ZernikepolynomialsandtheMaxdeformation，surface errorPV andRM Svaluesduetothelightweightmirrorthermaldist