一种MEMS加速度计误差分析与校准方法.pdfVIP

第27卷 第7期 传 感 技 术 学 报 Vol_27 No．7 2014年 7月 CHINESEJOURNALOF SENSORSAND ACTUATORS July2014 AnErrorAnalysisandCalibrationM ethodofMEMSAccelerometer YINHang，ZHANGWei，YUANLinfeng (ResearchInstituteElectronicScienceandTechnologyofUESTC，UniversityofElectronicScienceandTechnologyofChina，Chengdu611731，China) Abstract：MEMS sensors are usually susceptible to deterministic biasesand stochastic noises，to improve their measurementaccuracy and stability，takeaccelerometersensorasan example，aftera errormodelisbuiltforit，an integratedcalibrationmethodtocompensatebothkindsoferrorsatthesaluetimeisproposed，inwhichAllanvarina ceis usedtonaalysistherandom noisequantificationally．Besides，several kindsofmethodsincludingleastsquaremethodto calculatedeterministiccalibrationpraameters．extendedKalmanfiltertodecreaserandom noiseraeused．Theexperiment resultshowsthatthismethodcan efficientlycalibratethedeterministicbiasesanddecreasethe influenceofrandom noises．theerrorcompensatedmeasurementdatahasnotableimprovementinaccuracyandstbaility． Keywords：MEMSsensor；errorcalibration；Allanvariance；extendedKalmanfilter EEACC：7130；7230M doi：10．3969／j．issn．1004-1699．2014．07．003 一 种 MEMS加速度计误差分析与校准方法 尹 杭，张 伟 ，袁琳峰 (电子科技大学电子科学技术研究院，成都 611731) 摘 要：MEMS传感器测量中一般存在确定性偏差和随机噪声两类误差，为提高其测量精度和稳定性，以MEMS加速度计为 例 ，在建立其测量误差模型的基础上，提出一个综合的校准方案 ，同时对这两类误差进行补偿。其中使用Allan方差对随机噪 声项进行量化分析，并综合采用了最小二乘法计算确定性校准系数 ，扩展卡尔曼滤波降低随机噪声等方法。通过实验验证， 表明该方案可以有效校准加速度计测量的确定性偏差并降低随机噪声干扰，最终经过误差补偿后的测量数据在精度和稳定 性方面都有明显提升。 关键词 ：MEMS传感器；误差校准；Allan方差；扩展卡尔曼滤波 中图分类号：TP202 文献标识码：A 文章编号 ：1004—1699(2014)07—0866—04 随着智能手机等移动终端的快速发展，MEMS传 据状态空间模型给出完整的校准方案。 感器的使用得 以普及 ，从而大大降低了其成本，并且 本文首先讨论了MEMS惯性测量传感器的误差 得益于MEMS传感器的体积小，功耗低，易于集成的 来源，将其分为确定性偏差和随机噪声两类，并建立 特点，更促进人们将 MEMS传感器用于汽车电子，智 了一个综合了两类误差的测量模型。然后使用最小 能移 动终