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140 传感器与微系统(TransducerandMicrosystemTechnologies) 2016年 第35卷 第2期 DOI：10．13873／J．1000--9787(2016)02-0140-03 一 种基于TDC的相对频差测量方法 杜念通 ，周 斌 (清华大学 精密仪器系，北京 100084) 摘 要：提出了一种基于时间／数字转换器 (TDC)的频率差测量方法。该方法使用延迟链和参考时钟结 合的TDC直接数字量化频率差。测量系统与非线性标定模块均在现场可编程门阵列(FPGA)中实现。为 了对频率差检测精度进行评估，使用振荡器作为仿真输入信号进行了实验。结果显示：所提出的测量方法 对Af／f的测量噪声可以达到1×10 ／~／Hz。在实验结果的基础上，对测量噪声的来源进行了分析。 关键词：时间／数字转换器；频率差；频率差测量 ；现场可编程门阵列 中图分类号：TM935．1 文献标识码：A 文章编号：1000--9787(2016)02-0140-03 A relativefrequencydifferencedetectionmethodbasedonTDC DU Nian—tong，ZHOU Bin (DepartmentofPrecisionInstrument，TsinghuaUniversity，Beijing100084，China) Abstract：AnovelmethodforrelativefrequencydifferencedetectionbasedOiltime—to—digitalconverter(TDC)is proposed．A TDC with astructureofdelaychaincombinedwith referenceclockisusedto directlydigitizethe frequencydifferencevalueofthesignalundertest．Themeasurementsystem andnonlinearcalibrationmoduleare implementedonfield—programmablegatearray(FPGA)．Toevaluatedetectionprecisionofrfequencydifference， oscillatorisusedassimulation signalstoconducttheexperiment．Resultshowsthattheproposedmeasurement methodcarlreachmeasurementnoise1×10 ／、／HztoAf／f．Themeasurementnoisesourcesareanalyzed．onthe basisofexperimental result． Keywords：time—to—digitalconverter(TDC)；frequencydifference；frequencydifferencedetection；field prorgammablegatearray(FPGA) 0 引 言 法本质上是一种脉冲计数的内插方法，利用TDC技术消除 在很多控制或数字化处理的场合 ，经常要求测量两个 计数误差。同时这种方法直接将频率差转换为数字量，避 交变信号频率的瞬时相对变化量，例如 ：对于谐振式微光学 免了引入复杂的模拟电路和额外的噪声。与传统的频率差 陀螺，通过检测频率差来获得陀螺的转动角速度；石英谐振 检测方法相比，基于TDC的方法在提高测量精度的同时仍 式加速度输出的振动频