一种宽频的磁式压电振动能量采集器.pdfVIP

66 传感器与微系统(TransducerandMicrosystemTechnologies) 2011年第30卷 第4期 一 种宽频的磁式压 电振动能量采集器 马华安，刘景全，唐 刚，杨春生，李以贵 (上海交通大学 微纳科学技术研究院 微米／纳米加工技术国家级重点实验室 薄膜与微细技术教育部重点实验室。上海200240) 摘 要：基于环境能量采集的压电振动能量采集器为无线传感器和微机电系统的长期供能提供了一种有 效解决方案。目前研制的压电式振动能量采集器存在工作频率高，且频带窄的问题。给出了一种通过磁 力的引入使其在低频下工作的、宽频的压电振动能量采集器，并搭建了测试系统对器件进行分析测试。在 压电悬臂梁上放置永磁铁取代传统的质量块 ，同时在悬臂梁的上下方也放置不同极性的永磁铁。对压电 悬臂梁 (长40mm、宽8mm、厚0．8mm)，在0．5g加速度作用下进行试验测试 ，峰峰电压 10V以上的有效 频带为80—100Hz，与传统无磁铁振动式压电能量采集器相比，有效地拓展了5Hz的工作频带。 关键词：压电悬臂梁；振动；能量采集 ；宽频；永磁铁 中图分类号：TP332．3 文献标识码：A 文章编号：1000--9787(2011)04-0066-03 A●m agnetJl■C st』ruct·ure 1n0r lDr0ad1lbandlDl■eZ0elleCtJrl■C vibrationenergyharvester MAHua—an，LIUJing—quan，TANGGang，YANG Chun—sheng，LIYi—gui (Nafion~KeyLaboratoryofNano／MicroFabricationTechnology，KeyLaboratoryfor ThinFilm andM icrofabricationofM inistryofEducation，InstituteofM icoandNanoscienceand Technoloyg ，ShanghmJiaotongUniversity，Shanghm 200240，China) Abstract：ThepiezoelectricvibrationenergyharvesterbasedOiltheenvironmentaleneryg collectionprovidesa solutiontothelong—termpowersupplytowirelesssensorandmicro—electro—mechanicalsystem(MEMS)．Currently developedpiezoelectricvibrationeneryg harvesterencountersproblemsofhighrfequencyandnarrow rfequency band．A piezoelectric vibration eneryg harvesterworking atlow rfequencies and the broadband rfequency environmentispresented，andatestsystem isbuilttoanalyzethetestdevice．Thepermanentmagnetisplacedon thepiezoelectriccantilevertoreplacethetraditionalmass，andacoupleofpermanentmagnetsisalsoplacedonthe upperandaboveofthepiezoelectriccantileverrespectively．Experimentiscarriedoutunderthe0．5gnacceleration onthepiezoelectriccantilever(1e