一种低成本压电无阀微泵的研制.pdfVIP

2011年 第3O卷 第3期 传感器与微系统 (TransducerandMicrosystemTechnologies) 101 一 种低成本压 电无 阀微泵 的研制 徐 亮，应 济，李 俊 (浙江大学 机械工程学系，浙江 杭州 310027) 摘 要：提出了一种低成本的由压 电材料驱动的平面扩张／收缩管无阀微泵的制作工艺。通过数值模拟 确定了扩张／收缩管扩张角的最优值，在此基础上，采用光刻和湿法刻蚀工艺 ，刻蚀 了300 m深的泵腔基 片和 100 m深的盖片；使用等离子体清洗技术将其与 PDMS薄膜键合 ，完成了可以实现单向泵送的压 电 无阀微泵样机制作。研究了该压 电无阀微泵样机的性能，分别分析了压 电振子的激励频率、电压和微泵背 压对其流量的影响。实验结果表明：在 100V，110Hz交流方波电压信号的作用下，微泵有最大输出流量为 436 L／min，最大背压为620Pa。 关键词：无阀微泵；低成本；聚二甲基硅氧烷薄膜；扩张／收缩管 ；湿法刻蚀 中图分类号：TH323 文献标识码 ：A 文章编号：1000-9787(2011)03-0101-04 R1一esearCn ann1Itiltalbric‘atJl■0n 0I■●a l■0w -coSt』Val■Vel’ess m l●crODum p 一based一On pl●ez0eI1eCtJrl●C actuat·io‘n半。 XU Liang，YINGJi，LIJun (DepartmentofMechanicalEngineering，ZhejiangUniversity，Hangzhou310027，China) Abstract：A low—costvalvelessmicropumpbasedonpiezoelectricactuationispresented．Theoptimizedvalueof openingangleisobtained bynumericalsimulation，which isthereferenceofdesign parametersofthediffuser／ nozzleelement．A300Ixm depthofpumpchambersubstrateanda100 m depthofcoverarefabricatedonpyrex glassusingphotographicandwetchemical etchingprocesses．Then，byusingplasmacleaningtechnology，theyare bondedto PDMS membrane to accomplish the fabrication ofthe micropump．The maximum flow rate and backpressureofthepumpraeabout436p~L／minand620Pawhenapplyinga100V squraewavedrivingvoltageat 110Hzacrossthepiezoelectric—disc． Keywords：valvelessmicropump；low—cost；PDMSmembrane；diffuser／nozzle；wetetching 0 引 言 无阀结构方向发展 ，如YoonJS等人_l研制的双向斜道式 作为微流体系统的驱动源，微泵是其发展技术的重要 无阀微泵，ForsterFK等人 制作的基于Tesla阀的无阀微 标志，一直是该领域研究的热点。由于无 阀微泵的结构和 泵，而国内虽然做了较多的研究工作 ，但在制造工艺上尚有 制造工艺简单，因而具有独特的发展前景。组成无阀微泵