17 电子光学基础要点.ppt

能量为E的 电子轨迹 象1 透镜 物 P 光轴 电磁透镜之色差 能量为E- E的 电子轨迹 象2 透镜球差和色差系数Cs Cc与激磁电流I 的关系 电磁透镜之像差 球差引起的畸变： 球差越大，像畸变越大，球差系数随激磁增大面减小。因 此，电磁透镜在较低的激磁电流下工作，球差比较大，像畸 变较为显著。（是像整体的畸变） 电磁透镜之像差 在电子透镜中，球差对分辨本领的影响最为重要，因为没有一种简便的方法使其矫正，而其它象差，可以通过一些方法消除。 电磁透镜的分辨本领最终由衍射效应和球差决定。 确定电磁透镜的最佳孔径半角，使得衍射效应Airy斑和球差散焦斑尺寸相当，表面两者对透镜分辨本领影响效果一样。 电磁透镜总结 电子透镜分辨本领大，场深（景深）大，焦深长。 景深是指在保持象清晰的前提下，试样在物平面上下沿镜轴可移动的距离，或者说试样超越物平面所允许的厚度。 焦长是指在保持象清晰的前提下，象平面沿镜轴可移动的距离，或者说观察屏或照相底版沿镜轴所允许的移动距离。 电子透镜所以有这种特点，是由于所用的孔径角非常小的缘故。这种特点在电镜的应用和结构设计上具有重大意义。 电子透镜之景深和焦长 α 2MX α R L2 L1 Qi 2X Q Df 透镜 象平面 景深示意图 任何偏离理想物平面的物点都将在透镜像平面上产生一个具有一定尺寸的失焦圆斑。如果失焦圆斑尺寸不超过由衍射效应和像差引起的失焦圆斑，那么对透镜的分辨率是没有影响的。场深Df可以表示为： △r0：电磁透镜的分辨本领 ，α：孔径半角 电磁透镜孔径半角越小，场深越大。 对于加速电压为100kV的电镜，样品厚度一般控制在200nm，在样品的场深范围之内，样品各部位的细节都能得到清晰的像。 场深 屏 透镜 α L1 L2 Df 2d最小 M 焦深示意图 像平面在一定的轴向距离移动，会引起失焦。如果失焦圆斑尺寸不超过由衍射效应和像差引起的失焦圆斑，那么对透镜的分辨率是没有影响的。场深DL可以表示为： 这里的M是总放大倍数。 当电磁透镜放大倍数和分辨本领一定时，透镜焦长随孔径半角减小而增大。 因此，当用倾斜观察屏观察象时，以及当照相底片不位于观察屏同一象平面时，所拍照的象依然是清晰的。 焦深 8 电子光学基础 引言 引言 探索物质的微观结构要借助仪器，人们使用最早的仪器当属显微镜。 放大镜（凸透镜）：简单的放大作用 光学显微镜（凸透镜作为物镜，凹透镜作为目镜）： 可以将物体放大到1000倍，许多没有被人们察觉的物质结构的细节，清晰地展现在人们的眼前。 人眼的观察：对周围世界进行真实的观察。 1665年，虎克用以发现“细胞”的显微镜 引言 现代光学显微镜 引言 引言 光学透镜成象原理 对于薄透镜成像，物平面、焦平面、像平面三者之间的关系： L1:薄透镜物距 L2:薄透镜像距 f :薄透镜焦距 透镜的放大倍数： 光学透镜成象原理 1）一个世纪以来，人们一直用光学显微镜来揭示金属材料的显微组织，借以弄清楚组织、成分、性能的内在联系。但光学显微镜的分辨本领有限，对诸如合金中的G.P 区（几十埃）无能为力。 2）最小分辨距离计算公式 其中 d —— 最小分辨距离 λ—— 波长 n —— 透镜周围的折射率 α—— 透镜对物点张角的一半，n.sinα称为数值 孔径，用 N.A 表示 光学显微镜的局限性 3) 由于光的衍射，使得由物平面内的点O1 、 O2 在象平面形成一B1 、 B2圆斑（Airy斑）。若O1 、 O2靠的太近，过分重叠，图象就模糊不清。 O1 O2 d L B2 B1 Md 强度 图（a）点O1 、 O2 形成两个Airy斑；图（b）是强度分布。 （a） （b） 光学显微镜的局限性 Airy斑 图（c）两个Airy斑 明显可分辨出。 图（d）两个Airy斑 刚好可分辨出。 图（e）两个Airy斑 分辨不出。 I 0.81I 光学显微镜的局限性 4）对于光学显微镜，N.A的值均小于1，油浸透镜也只有1.5～1.6，而可见光的波长有限，因此，光学显微镜的分辨本领不能再次提高。 5）提高透镜的分辨本领：增大数值孔径是困难的和有限的，唯有寻找比可见光波长更短的光线才能解决这个问题。 光学显微镜的局限性 电子的波长 比可见光波长更短的有： 1）紫外线 —— 会被物体强烈的吸收； 2）X 射线 —— 无法使其会聚； 最终人们将目光聚焦在电子上。 电子波与电磁透镜 根据德布罗意物质波的假设，即电子具有微粒性，也具有波动性。电子波的波长： h ——Plank 常数 m ——电子质量 v ——电子速度，它和加速电压