介观压光型加速度传感器.pdfVIP

112 传感器与微系统(TransducerandMicrosystemTechnologies) 2013年 第32卷 第 ll期 介观压光型加速度传感器 李红梅 ，许丽萍 ，温延敦 ，， (1．中北大学物理系，山西太原 030051； 2．中北大学微米纳米技术研究中心，山西 太原030051； 3．中北大学 电子测试技术国家重点实验室。山西太原 030051) 摘 要：对于光子晶体而言，角度、厚度、周期数等对其透射率产生很大的影响，但相对于这些，轴向压力 的影响更大。通过对介观压光效应的应用，用光子晶体代替传统的力敏电阻器，设计一种新型的加速度传 感器，使其测量精度得到很大的提高 ，测量量程也有很大的改进。所设计的加速度传感器采用四端固支梁 结构，有效地消除了偏轴效应，具有很好的稳定性。利用ANSYS软件对所设计的结构进行了应力模拟分 析和三阶模态分析。这种加速度传感器具有很大的优势，可以运用到以后的航天、军事、车辆等领域。 关键词：光子晶体；介观压光 ；加速度传感器；ANSYS；三阶模态 中图分类号：O437 文献标识码：A 文章编号 ：1000-9787(2013)ll-0112-03 M esoscopiccalenderingtypeacceleration sensor LIHong-mei ，XU Li．ping ，WEN Ting．dun ，’。 (1．DepartmentofPhysics，NorthUniversityofChina，Taiyuan030051，China； 2．CenterofMicro／NanoTechnology，NorthUniversityofChina，Taiyuan030051，China； 3．NationalKeyLaboratoryforElectronicMeasurementTechnology，NorthUniversityofChina，Taiyuan030051，China) Abstract：Forphotoniccrystal，angle，thickness，andnumberofcycleshavelargeimpactontransmittance，but withrespecttothoseelements，axialcompressiveforcedogreaterimpact．Throughapplicationofthemesoscopic calendereffect，usephotoniccrystainsteadoftraditionalforcesensingresistor，designanewtypeofacceleration sensor，torgeatlyimproveitsmeasurementprecision，and measurementrange．Thedesinged accelerationsensor usesfour—terminalclamped beam structure，effectively eliminate effectofoff-axis，hasgood stability．Stress simulationanalysis and third—ordermodalanalysison the designed structure are carried outusing ANSYS softwrae．Theacceleration sensorhasgreatadvantagewhichcanbeappliedtothefieldofaerospace，military， vehicles，assoon． Keywords：photoniccrystal；mesoscopiccalendering；accelerationsensor；ANSYS；t