谐振敏感元件特性模拟器的研究.pdfVIP

第24卷 第 1期 传 感 技 术 学 报 Vol_24 No．1 2011年 1月 CHINESE JOURNALOF SENSORSANDACTUATORS Jan．2011 Research on theCharacteristicSimulatorfortheResonators XING Weiwei ，DU Yan，FAN Shangchun (BeihangUniversity InstrumentScience OptoelectronEngineerin，Bering100191，China) Abstract：To implementthe direct checked of the resonant silicon microstmcture sensor integrated testing instrument，andoptimizethereactivecontrollingcircuitofresonantsensor，acircuitwithresonatorCharacteristics wasdesigned，theresontorisdetectedpiezoresistively．TheCharacteristicsofpiezoresistively，whichistheCrUXofthe circuit，wasachieved by analogcircuit．Linearvoltage controlledresistorwasobtained．A feedback compensation — — technologythatcanbeusedtoexpandthefrequencybandwidthofthisanalogcircuitwaspresented，SOthefrequency responsewasimproved．Experimentresultsdemonstratethattheequivalentoutputimpedance／resistoriscontrolled bytheinputvohage，whichmeansthesuccessfulsimulationoftheresonator． Keywords：resonantsensor；siliconmicromachining；piezoresistive；simulator；voltage—controlledresistance EEACC：7230；1280 doi：10．3969／j．issn．1004—1699．2011．O1．009 谐振敏感元件特性模拟器 的研究术 邢维巍 ，杜-艳 ，樊尚春 (北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院，北京 100191) 摘 要 ：为了实现谐振式硅微传感器测试仪器的直接校验，以及进行谐振式传感器反馈控制电路的优化研究，设计了能够模 拟压阻拾振式谐振敏感元件特性的电路。其中压阻变换是该电路实现的关键。文章采用模拟电路实现对谐振敏感元件的电 阻拾振特性的模拟，得到受电压线性控制的交变电阻。对该电路进行了高频特性分析，提出一种可拓宽其频带的反馈补偿技 术，从而改善 电路的高频性能。实验结果表明，该模拟电路能够现实压阻变换功能，满足谐振敏感元件特性的要求。 关键词 ：谐振式传感器 ；硅微机械；压阻拾振；模拟器 ；压控电阻；硅微传感器 中图分类号 ：TP212．1；TN911．6 文献标识码 ：A 文章编号 ：1004-1699(2011)01-0041—05 微机械谐振敏感元件 的研制过程 中，常需要用 的谐振式压力敏感元件特性设计 电路，模拟谐振敏 到专用的测试仪器对其进行测试、分析和评估 。 感元件的输入输出特性 。 校验是仪器研制中