电阻测量设备设计方案.docVIP

电阻测量设备设计方案 2010-6-8 1.性能指标与设计要求 该设备功能是在片式电阻镭射切割后进行合格率抽样检测。功能包括双探针的三维定位、电阻测量与采集、测量结果数据处理与数据库文件管理等。 1.1 电阻测量性能指标 测量手段 测量范围 测量精度 测量时间 高精度4线电阻表 0.001——100 最高0.1% 最大0.5 1.2 探针定位系统设计指标 名称 指标 X轴有效行程 160（） X轴速度 0.15（） Y轴有效行程 160（） Y轴速度 0.15（） Z轴有效行程 20（） Z轴速度 0.15（） 1.3 测量数据处理与管理功能 序号 功能 测量结果图形化显示，同时计算最大、最小、平均值与标准差 测量结果以文件形式存盘 测量结果导出到EXCEL 制定任意行、列、角、单个电阻的测量布局 支持自动测量方式与手动测量方式 2.电控设计方案 2.1 电阻测量方案 采用支持串口数据通讯的高精度电阻表进行电阻测量，每个测量结果在仪表面板显示的同时，也通过串口将结果发送到计算机中。因此，电阻表采用安柏高精度电阻表AT512，其性能可完全满足指标要求。 2.2 探针方案 采用自制的4线探针电路板，与Z轴机构连接。 2.3 电机控制方案 各轴均采用步进电机，采用雷赛的2套4轴运动控制卡，控制7个步进电机。驱动器采用雷赛的步进电机驱动器。 2.4 计算机与软件 采用工业控制计算机，19寸显示器，实现数据采集、电机控制、功能操作与数据处理。 3.机械设计方案 3.1机械件选型 根据速度0.15m/s计算选择X、Y、Z的丝杠和导轨： 丝杠：HJG-S 1203-3-5，即轴径12mm，导程3mm，精度等级C5（23um）。 导轨：HJG-DA15AA2H1 2×200-5，精度等级5（20um）。 3.2精度分析 电阻基板按端华0201计算，列间距200um，行间距400um。探针尖端直径按0.1mm计算。 精度分配： X轴um Y轴um Z轴um 经计算，未确定的系统误差： um 设定系统的随机误差是7um。 则系统精度： 53+7=60um 因此，选型设计完全满足系统精度要求。 3.3机械结构设计方案 结构方案参照国巨测量设备进行设计。 机械系统包括载片台部分，运动部分和机架三部分组成。 载片台用于夹持固定基板，为兼容0402和0603两种型号基板，载片台夹持部分由4个定轴承，2个动轴承组成，动轴承由海顿步进电机推动张开，依靠弹簧拉力收紧夹持基板。 运动部分由2套相对独立的XYZ三维运动系统组成。X、Y、Z均是步进电机加滚珠丝杠的结构，采用叠加的方式安装，即：Y安装在X上，Z安装在Y上。其中，2根X丝杠平行安装，共用2根导轨。Y、Z是独立的系统。图像系统安装在其中一套Z上，垂直与载片台。2根用于测量的探针分别安装在2套Z系统上，为防止撞针及降低Z轴的精度，增加缓冲装置。 机架用于承载载片台和运动部分，并安装计算机、测量仪表、电源箱等。 4.成本预算 4.1 电控系统 组成单元 成本 测量仪表 9,000 计算机+显示器 5,000 运动扩展卡 5,000 步进电机 2,200 步进电机驱动器 2,100 传感器 1,500 探针 200 相机 2,100 相机镜头 900 合计：28,000 4.2 机械系统 （注：不包含机加费用） 组成单元 成本 丝杠6根 3，000 4，800 1，500 1，100 500 机柜（400×500×210） 380 其他 2720 合计：14，000 ----------------------------精品word文档 值得下载 值得拥有---------------------------------------------- ----------------------------精品word文档 值得下载 值得拥有---------------------------------------------- -----------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------