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- 2017-05-14 发布于湖北
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第4章 电容式传感器 资料来源于互联网 宋玉宏整理修改 2009年8月 第4章 电容式传感器 概述 电容式传感器是实现非电量到电容量转化的一类传感器。 应用于压力、位移、厚度、加速度、液位、物位、湿度和成分含量等测量之中 。 由于电容式传感器结构简单、体积小、分辨率高,且可非接触测量,因此很有应用前景。 4.1 工作原理和结构 由绝缘介质分开的两个平行金属板组成的平板电容器,如果不考虑边缘效应,其电容量为: 式中: A—极板相对覆盖面积 d—极板间距离 εr—相对介电常数 ε —电容极板间介质的介电常数 ε0 —真空介电常数,ε0 =8.85pF/m; ε —电容极板间介质的介电常数 4.1 工作原理和结构 d、A和εr中的某一项或几项有变化时,就改变了电容C、d或A的变化可以反映线位移或角位移的变化,也可以间接反映压力、加速度等的变化;εr的变化则可反映液面高度、材料厚度等的变化。 结论:保持其中两个参数不变,而仅改变其中一个参数,就可把该参数的变化转换为电容量的变化,通过测量电路就可转换为电量输出。 4.1 工作原理和结构 电容式传感器可分为变间隙式(变极距型)、变面积式和变介电系数式三种类型。 4.1 工作原理和结构 4.1.1 变间隙式电容传感器 下图为变极距型电容式传感器的原理图。当传感器的εr和A为常数,初始极距为d时,
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