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利用准分子激光刻蚀法在光学玻璃上快速制作耐用的相位透射光栅.pdf
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利用准分子激光刻蚀法在光学玻璃
上快速制作耐用的相位透射光栅
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1
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2
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( 1)
1 m ,
, 10 mm 30 mm ,
31 m rad2 , 0. 8 J
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( A rF )
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D m in = 1. 22/ N A = 3m
2000 2 ( 410 ) 35
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24 8 , ( 2 ,
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FG 375) 308 nm,
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