1光电信息转换集成器件（位置传感器）.pptVIP

* 第三章 光电信息转换 上一页 下一页 回首页 回末页 结束 第三章 ? ? ? ? ? §3.2.1 位置传感器（PSD） 回目录 * 光电位置敏感器件（PSD）是一种对其感光面上入射光点位置敏感的光电器件。即当入射光点落在器件感光面的不同位置时，PSD将对应输出不同的电信号。通过对此输出电信号的处理，即可确定入射光点在PSD的位置。入射光点的强度和尺寸大小对PSD的位置输出信号均无关。PSD的位置输出只与入射光点的“重心”位置有关。 PSD可分为一维PSD和二维PSD。一维PSD可以测定光点的一维位置坐标，二维PSD可测光点的平面位置坐标。 1．一维PSD 实用的一维PSD为PIN三层结构，其截面如图3.2.1－1〔a〕所示。 P层为感光面，两边各有一信号输出电极。当入射光点照射到PSD光敏面上某点时，由于在入射光点到信号电极间存在横向电势，从而从信号电极上分别得到光电流I1和I2。如果PSD表面层的电阻是均匀的，则PSD的等效电路为图3.2.1－1〔b〕所示的电路。由于Rsh很大，而Cj很小，故等效电路可简化成图3.2.1－1 (c) 的形式。 PSD的单个电极输出只与光点的位置坐标x有关，而与入射光强度无关，此时PSD就成为仅对入射光点位置敏感的器件。Px称为一维PSD的位置输出信号。其