气体放电器件.pptVIP

第6章 气体放电器件 6.1引言 在一般情况下，气体是一种良好的绝缘体。但在一定条件下，它可以变成良导体，这种气体导电现象，成为气体放电。 气体放电的过程非常复杂，不同的外部条件、不同种类及不同气压的气体呈现出不同的放电特性。人们正是利用了这些不同的放电特性所表现出的宏观现象，制造了种类繁多的气体放电器件。如稳压管、各种类型光源和显示器件等。 和半导体器件相比，气体放电器件具有工作电压高、使用寿命短、体积大、消耗功率大等致命缺点；但具有工作耐压高、承受电流大等优点。 补充：气体放电的电流电压特性 放电区间分成几个区. 1) 无光放电区A—B 在低压的气体中。由于宇宙射线产生了一部分游离正离子和电子，气体中始终存在一部分正离子和电子。当在两电极加上直流电压时，这些少量的正离子和电子将在电场下运动形成电流。此时，电子、离子与中性气体分子之间的碰撞是弹性碰撞。这些少量的正离子、电子量是恒定的，即使升高电压，电流密度仍很小，一般仅为1015-1016A/cm2左右，此区只导电不发光，所以称为“无光放电区”。 2) 汤森放电区B~C 在两极电压逐渐升高，电子的运动速度加快，电子与中性气体分子之间的碰撞不再是低速时的弹性碰撞，而是使气体电离，电离产生正离子与电子，所产生的电子和原有电子继续使气体分子被电离，电离使离子、电子数增大，电流平稳地增加，但电压却保持不变。 上述两种情况，都是以自然电离源为前提，如果没有游离的电子和正离子。则放电不会发生，因此，这种放电方式又称为非自发放电。 3) 过渡区C~D 当电容器两端电压进一步增加时，当至C点发生“雪崩点火”。离子轰击阴极,释放出二次电子，二次电子与中性气体分子碰撞，产生更多的离子，这些离子再轰击阴极，又产生出新的更多的二次电子。一旦产生了足够的离子和电子，突然出现带颜色的辉光，气体起辉，放电达到自持。两极间电流剧增，电压迅速下降，放电呈现负阻特性。此时C点对应的电压叫击穿电压，起辉电压，也称气体击穿，击穿后气体的发光称为辉光放电。CD区为过渡区。 4) 辉光放电D—E 在进入辉光放电区，增大电源功率，放电管两管电压保持不变，而电流平稳增加。在正常辉光放电时，放电自动调整阴极轰击面积。最初，轰击是不均匀的，轰击集中在靠近阴极边缘处，或在其它不规则处。随着电源功率的增大，轰击区逐渐扩大，直至阴极面上电流密度几乎均匀为止。辉光放电时，电子和正离子是来源于电子的碰撞和正离子的轰击阴极，即使自然游离源不存在，导电也将继续下去。而且维持辉光放电的电压很低，且不变，此时电流的增大显然与电压无关，而只与阴极板上产生的辉光面积有关。 由于正常辉光放电时电流密度仍很小，所以在溅射等方面均是选择在非正常辉光放电工作区。 5) 非正常辉光放电区 在轰击覆盖住整个阴极表面之后，进一步增加功率，放电的电压和电流密度将同时增加，进入非正常辉光放电状态。其特点是：电流增大时，两放电极板电压升高，且阴极电压降的大小与电流密度和气体压强有关。因为此时辉光已布满整个阴极，再增加电流时，离子层已无法向四周扩散，这样，正离子层便向阴极靠拢，使正离子层与阴极间距距离缩短，此时若要想提高电流密度，则必须增大阴极压降使正离子有更大的能量去轰击阴极，使阴极产生更多的二次电子才行。 6) 弧光放电区 异常弧光放电时，在某些因素影响下，常有转变为弧光放电的危险。此时，极间电压陡降，电流突然增大，相当于极间短路。且放电集中在阴极的局部地区，致使电流密度过大而将阴极烧毁。同时，骤然增大的电流有损坏电源的危险。弧光放电在气相沉积中的应用，仍在进一步研究之中。 6.2 用于脉冲调制的闸流管 脉冲闸流管在阴极、阳极之间有1个或多个栅极，是具有控制特性的热阴极低气压气体放电器件。简单地说，闸流管是一种高峰值功率开关。这种开关的戒指是某种气体，它在“关”的状态时候处于绝缘状态，能耐住很高的电压；在“开”的过程中将绝缘的中性气体转变成导电的等离子体，并通过很大的峰值电流脉冲，把储能元件上储存的能量在瞬间转换成强大的功率脉冲输出，然后又迅速恢复成“关”状态。 闸流管具有导通速度快、阳极脉冲电流前沿抖动小、承受功率大和过载能力强等优点，因此应用范围十分广泛。 6.2.1 脉冲闸流管的基本结构和工作原理 基本结构 闸流管的基本结果如图所示。闸流管主要由阳极、控制栅极、阴极和氢存储器等几不封组成。阳极是一个平面的圆盘，为提高闸流管的耐压和有利于散热 ，阳极整体制成杯状。栅极和阳极平行，在阳极和阴极之间，它起到屏蔽和减弱阳极电场作用。在栅极上有 多个圆孔或不同形状的狭缝，起到导通 电流、控制阳-阴极着火作用。为了提