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图4-19 差动式电容压力传感器 P1 P2 图4-21 电容式加速度传感器 图4-22 电容式料位传感器 图4-23 电容式振动位移传感器 图4-24 电容式振动位移传感器应用 电容式测厚 轧辊 工作极板 被测带材 转速测量 1 2 3 4 1 — 齿轮 2 — 定极 3 — 电容传感器 4 — 频率计 * * 4.1 工作原理及类型 电容式传感器将被测量的变化转换成电容的变化。 2.类型 变极距型(变间隙型） 变面积型 变介电常数型 电极板形状有平板形、圆筒形和球面形三种。 第4章 电容式传感器 1.工作原理 两个平行金属极板组成的电容器，不考虑边缘效应，其电容为 C= ?S/d ε―两个极板间介质的介电常数； S ―两个极板相对有效面积； d ―两个极板间的距离 + + + d S ? 变极距型电容传感器 变面积型电容传感器 变介电常数型电容传感器 4.2 电容传感器的灵敏度及非线性 变极距型的平板电容传感器的灵敏度 变面积型 变介电常数型 当极板间距有一个增量Δd 时，则传感器电容为： 假设极板间只有一种介质，其初始电容值为： 灵敏度k为： 为在较大的范围内使用变极距型传感器，