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2017-05-16 发布于重庆
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ASM固晶时序流程

* Ejector Home Ejector up Delay BHZ Home Pick Delay Pick Pick Level Ejector Up Level Ejector Down Delay BHZ Home BH Vacuum ON Bond Level BH Vacuum OFF Suck Bond Delay BH Pre Weak Blow ON BH Pre Weak Blow OFF Bond Delay BH Post Weak Blow ON BH Post Weak Blow OFF Wblow Delay (Pre) Wblow Delay (Post) Bond BHZ Home Ejector Vacuum ON Bond Level Ejector Vacuum OFF Suck Bond Delay BH Pre Weak Blow ON BH Pre Weak Blow OFF Bond Delay BH Post Weak Blow ON BH Post Weak Blow OFF W blow Delay (Pre) W blow Delay (Post) Ejector Vacuum Mode (Normal Mode) Ejector Up Level Ejector Home Ejector Reference Level Ejector Home Ejector up Delay BHZ Home Pick Delay Pick Level Ejector Up Level Ejector Down Delay Ejector Vacuum ON Ejector Vacuum OFF Suck Bond Delay Wafer Table XY Position BH Pre Weak Blow OFF BH Post Weak Blow ON BH Post Weak Blow OFF W blow Delay (Pre) W blow Delay (Post) *