微型机械设计基础研究.pdfVIP

第 卷第 期 机 械 工 程 学 报 ,. ’ /012,. 302’ 年 月 ( ’ 453*+*67893:;7)*4:354:;*3=53**953= 612 ( !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! 微型机械设计基础研究 温诗铸 丁建宁 （清华大学摩擦学国家重点实验室 北京 ） !#$ 摘要 针对微型机电系统发展过程中存在的问题，论述了开展微型机械设计基础研究的意义和必要性，并且总结 出微型机械研究中关于微机械设计基础研究的范畴和特点，提出了目前迫切需要开展的一些主要研究方向。 叙词：微型机械 微机构学 微材料力学 微摩擦学 中图分类号： % !!’ 本文针对微型机电系统发展中存在的问题，论 前言 述开展微机械设计基础研究的意义和必要性，总结 出微型机械研究中关于机械设计基础研究的范畴和 随着微小型化的微电子器件进入机械领域，使 特点，为今后的工作提出一些主要的研究方向。 得微电子与机械进一步集成，从而设计制造出结构 复杂和功能独特的微型机电系统（ ）。微型机 微机械设计基础研究存在的问题和 )*)+ ! 电系统的研究是机械科学的前沿领域，涉及电子工 研究的意义 程、机械工程、材料科学、物理学、化学以及生物医学 等多种工程技术和科学。微型机电系统研究的最终 微型机械的出现，一方面是现代科技发展的需 目标是要大量生产可实际应用的微机械，并以其体 要，另一方面也反映了人类对事物极限本质的认识 积小、重量轻、耗能低、性能稳定；有利于大批量生 和追求。当一个系统的特征尺寸达到微米或纳米量 产，降低生产成本；惯性小、谐振频率高、响应时间 级时，将会出现许多新的科学问题。例如，随着尺寸 短；集约高技术成果，附加值高等特点，使其在生物 的减小，表面积与体积之比相对增大，表面效应增 医学、航空航天、军事和工农业各方面有广阔的应用 强，再加上微机械中构件间的间隙很小，表面作用力 前景。预计到 年将形成 亿美元的 影响很大，使得在进行微机械设计时必须考虑到表 (( ,#- )*)+ ［］ ! 产业 。经过十余年的飞速发展，国内外在硅微细 面效应和尺寸效应的影响；此外，微构件材料的变形 加工、光刻电铸加工、能束加工和特种精密加工等制 和损伤机制与宏观构件也不相同，因此，传统的机械 造工艺上取得了长足进展，已设计制造出各种微器 设计理论与方法已不再适用。 件，如微齿轮齿条和行星齿轮机构、微棘轮机构、微 微型机械研究发展至今，人们已经能够制造出 弹簧、微泵、微阀、微马达、微涡轮机、微加速度计、微 各种微器件，然而，要将各种微器件有效地组合成具 陀螺以及微卫星和核武器的微安全开关机构等。目 有一定功能的微机电系统就需要发展微机械设计理 ［］ 前，