半导体材料放电切割弯丝过冲控制研究.pdfVIP

设计 ·研 究 《电加工与模具》2012年第2期 半导体材料放 电切割弯丝过冲控制研究 韦国强，刘志东，邱明波，田宗军 (南京航空航天大学机电学院，江苏南京 210016) 摘要 ：提 出了一种基于电极丝位置检测的高阻半导体放 电切割弯丝过冲控制方法。在对高阻 半导体放电切割加工特性分析研究的基础上，分析 了传统 电火花线切割放 电间隙取样方法对高阻 半导体加工进给控制存在 的问题 ，提 出以测量加工过程 中电极丝 空间位置变化为基础的弯丝过冲 检测方法，并设计了相应的检测系统。采用该系统对高阻半导体单晶硅进行 了放 电切割加3-．，试验 表明：该检测系统能有效控制放 电过程 中出现的弯丝过冲现象，提高了切割效率。 关键词 ：半导体 ；电火花线切割加工 ；弯丝过冲；位置检测 中图分类号 ：TG661 文献标识码 ：A 文章编号 ：1009—279X(2012)02—0009—04 Research onControloftheBentW ireElectrodein theW EDM ofSem icondutor WeiGuoqiang，LiuZhidong，QiuMingbo，TianZongjun (NanjingUniversityofAeronautic Astronautic，Nanjing210016，China) Abstract：Thispaperputsforwardamethod，which isbasedon theposition detection ofwire electrode．tocontrolbentwireelectrodeintheW EDM ofhighresistancesemiconductor．Atthebasis oftheresearchonthepropertiesofwireelectricaldischargemachiningofhighresistancesilicon，itwas foundthatthe traditionaldischargegap samplingmethod isnotsuitable forcontrolling the feeding speedofW EDM ofhighresistancesemiconductor．A methodthatcandetectthebentwireelectrode accordingtothepositionoftheelectrodeintheprocesswasproposed．Andthecorrespondingsystem wasdesigned．Theexperimentshowsthatthesystem canmakeagoodcontrolforthebentwireelec— trodeinthedischargeprocessandimprovetheefficiency． Keywords：semiconductor；W EDM ；bentwire；positiondetection 随着现代科学技术的发展 ，硅 、锗等半导体脆硬 电火花加工 自动进给调节系统 的作用在于维持 材料在现代高新技术行业 的诸多领域 ，特别是在航 一 定的平均放电间隙，保证 电火花加工正常而稳定 空航天 、光学及 电子领域中起着十分重要的作用…。 的进行 ，以获得较好 的加工效果 。对导 电材料的 因此 ，对半导体材料的加工有着同样重要的作用 ，其 电火花线切割加工发展 了较成熟 的伺服检测技术， 中电火花线切il-lII工半导体晶体材料是一种极为有 能有效地根据加工状态进行伺服控制 ，但对高阻半 效的加工方法。比利时、美 国等研究机构采用单 向 导体晶体材料的伺服检测技术研究较少 。目前半导 走丝电火花线切割加工控制系统进行了硅片切割控 体 电火花线切割采用 的控制方法是根据试验经验进