HoneywellEPKS平台下实现四氯化硅氢化工艺程序控制.pdfVIP

2013年 12月 云南冶金 Dec．2Ol3 第 42卷第6期 (总第243期) YUNNAN METALLURGY Vo1．42．No．6 (Sum243) HoneywellEPKS平台下实现 四氯化硅氢化工艺程序控制 周万礼，黄庆鸿，张新红 (昆明冶研新材料股份有限公司，云南 曲靖 655011) 摘 要：改 良西门子法生产多晶硅中，四氯化硅氢化工艺操作步骤繁琐且多为手动操作，很难将各项工艺指 标进行精确控制。实际生产中，不断进行工艺优化及操作改进，现有HoneywellEPKS平台进行 自动程序设计及应 用，增加多项 自动连锁控制，实现了工艺生产过程程序控制。 关键词：氢化工艺；EPKS；程序控制 中图分类号：TN304 文献标识码 ：A 文章编号：1006-0308 (2013)06--0046—04 SiliconTetrachlorideHydrogenationProcessControlunderHoneywellEPKS Platform ZHOUWan-li，HUANGQing-hong，ZHANGXin-hong (KunmingYeyanNew—MaterialCo．，Ltd．，Qujing，Yunnan655011，China) ABSTRACT ：IntheproductionofpolycrystallinesiliconbyModifiedSiemensProcess，theoperationstepsofsilicontetrachloride hydrogenationprocessarecumbersome，andmostofoperationsaremanualmanipulation，itisveryhardtogetaccuratecontrolsforeach processtragets．Inthepracticeproduction，thetechnologiesgettheoptimizationandoperation improvementconstantly，multipleautomatic interlockcontrolsisincreasedbyautomaticprogrammingwiththeexistingHoneywellEPKSplatform，themanufacturingprocessprorgam con- troliSrealized． KEY W ORDS：hydrogenationprocess；EPKS；processcontrol 过程中关键数据优化，逐步进行 自动程序设计，实 1 引 言 现氢化工艺程序控制 。 采用改 良西门子法生产多晶硅中，主要原料是 2 生产过程控制说明 三氯氢硅和氢气，产生最多的副产物是四氯化硅。 改良西门子法最大的优势就在于用氢化技术将四氯 2．1 四氯化硅氢化工艺原理 化硅转化为三氯氢硅 ，实现主要副产物的循环利 本文针对热氢化工艺进行研究，主要工艺为四 用，避免了副产物外弃带来的环境问题，提高原料 氯化硅和氢气 以一定的配 比，在一定温度和压力 利用率，降低生产成本 11。氢化工艺具有复杂性、 下，以加热棒 (石墨或者 C／C材料)为载体，通 危险性和难以准确控制的特点，因此要实现四氯化 电加热至1200～1300℃，在氢化炉 内发生反应生 硅充分转化和利用，其生产中操作步骤的精