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TiN CVD多层涂层硬质合金的氧化行为

学兔兔 第 16卷第 1期 粉末冶金材料科学与工程 2011年 2月 、b1.16NO.1 M aterialsScienceandEngineeringofPowderM etallurgy Feb.2OI1 TiN/TiCN/AI2O3/TiNCVD多层涂层硬质合金的氧化行为 谢灿强 ,陈康华 ,王社权 一,祝 昌军 ,徐银超 ,陈响明 (1.中南大学 粉末冶金国家重点实验室,长沙 410083 2.株洲钻石切削,,J具股份有限公司,株洲 412007) 摘 要:采用高温化学气相沉积(HT-CVD)和中温化学气相沉积(MT.CVD)相结合的复合化学气相沉积新技术在硬 质合金基体WC一(Ti)C一(Ta,Nb)C一6%Co上分别沉积TiN/TiCN/TiN和 TiN/TiCN/AI2O3/TiN涂层,制备 TiNT/iCN/ TiN和TiN/TiCNA/1203/TiNCVD多层涂层硬质合金。通过氧化实验,x射线衍射仪(XRD)、扫描 电镜fSEM1和显 微硬度计等手段研究TiN/TiCN/TiN和TiNT/iCN/A12O3T/iNCVD多层涂层硬质合金的氧化行为。结果表明,涂层 后硬质合金的抗氧化性能明显提高,AI2O3的加入能进一步提高CVD多层涂层硬质合金的抗氧化性能,并使涂层 硬质合金表现出独特的氧化行为。A12O3涂层的抗氧化机理为A12O3具有 良好的高温化学稳定性,能起到很好的隔 热和阻碍氧扩散的作用。 关键词 :TiN/TiCN/TiN;TiN/TiCNA/1203/TiN;CVD多层涂层硬质合金 ;氧化行为 中图分类号:TG410.704 文献标识码:A 文章编号:1673.0224(2011)1.26.06 OxidationbehaviorofTiN/TiCN/(AI203)/TiNmultilayercoated cementedcarbide XIECan—qiang,CHENKang—hua,WANGShe—quan’,ZHUChang~un,XUYin.chao,CHENXiang—ming。 (1.StateKeyLaboratoryofPowerMetallurgy,CentralSouthUniversity,Changsha410083,China; 2.ZhuzhouCementedCarbideCuttingToolsLimitedCompany,Zhuzhou412007,China) Abstract:Usinganewtechnologyofchemicalvapordeposition(CVD)whichcombinesofhightemperaturechemical vapordeposition (HT-CVD)andmedium temperaturechemicalvapordeposition (MT-CVD),TiNT/iCNT/iN and TiN/TiCN/AI203/TiN coatingweredepositedonthecementedcarbidesubstrateofWC一(wTi)C-(Ta,Nb)C-6%Co, respectively,toprepareTiN /TiCN /TiN andTiN/TiCN/A12O3/TiN CVD multilayercoatedcementedcarbides.Oxidation experiments,XRD,SEM andmicrohardnessmeasurementareusedtostudytheoxidationbehaviorofTiN /TiCN/TiN a

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