W含量对Ti1-xWxN复合膜的微结构、力学性能和摩擦性能的影响.pdfVIP

学兔兔 第 l9卷第5期 粉末冶金材料科学与工程 2014年 10月 Vbl_l9No．5 M aterialsScienceand Engineering ofPowderM etallurgy 0ct．2014 复合膜的微结构、 力学性能和摩擦性能的影响 喻利花，董鸿志，许俊华 (江苏科技大学 材料科学与工程学院，镇江 212003) 摘 要：采用射频反应磁控溅射技术制备一系列不同W 含量的TiWN复合膜。利用X射线衍射仪、纳米J玉痕仪、 摩擦磨损仪等对 TiWN复合膜微结构、力学性能和摩擦性能进行表征。结果表明：当w 含量为 10．19％时，TiWN 复合膜呈fcc结构的TiWN相和Ti相双相结构；当w含量为25．42％时，复合膜中除TiWN相和Ti相，还出现了 Ti2N新相；而当w 含量为35．29％时，Ti相消失，w2N和 p—w 新相生成；当w 含量增加到 46．91％时，薄膜南 TiWN，Ti2N，W2N和 6．w 相组成。随w 含量的增加，薄膜硬度先升高后降低，室温摩擦因数和磨损率先减小后增 大。w 含量为35．29％时，硬度达到最大值，为30．67GPa，室温摩擦因数和磨损率达到最小值，分别为0．53l和 3．662×10 mm2N～。随温度升高，薄膜的摩擦因数先增大后减小，当温度升至 800℃时，摩擦因数降至最低， 为 0．397。 关键词：磁控溅射；TiWN复合膜；微结构；力学性能；摩擦性能 中图分类号：TG174．44 文献标识码：A 文章编号：1673—0224(2014)5．0812．06 EffectofW contentonmicrostructure，mechanicaland tribologicalpropertiesofTil一 compositefilms YU Li-hua，DONG Hung—zhi，XU Jun—hua (SchoolofMaterialScienceandEngineering，JiangsuUniversityofScienceandTechnology,Zhenjiang212003，China) Abstract：A seriesofTiWN composite filmswith differentW contentsweredepositedby RF—reactivemagnetron sputtering technique．Themicrostructure，mechanicalnad tribologicalpropertiesofTiWN composite filmswere investigatedbyX—raydiffraction，nna oindentation，CSM hightemperatureball—on—disctribo—meterandSOon．Theresults show thatthemicrostructureofTiWN film isconsistedoffeestructureTiWN phaseandTiphasewhenW contentiS 10．19％．BesidesTiWN phaseandTiphaseinthefilm，Ti2