第4章超精密加工机床设备.pptVIP

DTM－3 大型超精密加工机床 激光测量：分辨率2.5nm。 驱动：刀具微位移机构。 导轨：液体和空气静压导轨。 温度：流体温度（20?0.0006℃），空气温度（ 20?0.005℃ ）。机床各部件用大量恒温液体淋浇。 底座：花岗石（5万美元）。 该机床的加工精度可达到形状误差为28nm(半径)，圆度和平面度为12.5nm，加工表面粗糙度为Ra4.2nm。 LODTM大型光学金刚石车床 可加工?1625?500、重量1360Kg的大型金属反射镜等大型零件。 采用立式结构和空气轴承 刀具可以实现纳米级微位移。 采用7路高分辨力双频激光测量系统，分辨力达到0.625nm，采用了误差补偿技术。 为减小热变形的影响，机床各发热部件用大量恒温水冷却，水温度控制极其严格。 整台机床用4个大空气弹簧支撑。 隔振措施 远离振动源 机床附近的振源，如：空气压缩机、泵等应尽量移走。实在无法移走，应采用单独地基，加隔振材料。 超精密机床采用单独地基 隔振沟、隔振墙 使用隔振垫(也称空气弹簧) 超精密机床稳定性和减振隔振 第九节 减小热变形和恒温控制 据统计超精密加工机床热变形和工件温升引起的误差占总误差的40-70%。 如：加工100 m长铝合金零件，温度每变化1 ℃，将产生2.25 ?m的误差。 如：磨削?100零件，温度变化10 ℃，将产生11.0 ?m的误差。 目前许多超精密加工机床都装有温度控制系统和热误差补偿装置 减小热变形的措施 减小机床热源 ，如：空气轴承替代液体静压轴承以减小发热量；使用发热小的电机；将发热量大的器件至于机床床身之外等。 采用热膨胀系数小的材料，如：陶瓷、花岗石等。 结构合理、对称，使变形最小。 使机床长期处于热平衡、使变形量恒定 大量恒温液体浇注，使温度保持一致 减小热变形和恒温控制 气浮导轨 当导轨上的运动部件很重、且压缩空气压力稳定时，可使用气浮导轨。压缩空气使导轨浮起，摩擦系数接近零，不发热。 当压缩空气压力高度稳定时，气浮导轨可得到高的直线运动精度。 空气静压导轨 导轨上下、左右均在静压空气约束下，因此，和气浮导轨相比刚度和运动精度提高，几乎无摩擦。 空气静压导轨不发热，没有温升。 第五节 超精密加工机床进给驱动系统 能实现准确的微量位移和精确定位 精密数控系统 滚珠丝杠副驱动 液体静压和空气静压丝杠副驱动 摩擦驱动 精密数控系统 要求数控系统的分辨率高 （0.01 ?m）。 国外有高分辨率的精密数控系统，对我国禁运。 精密数控系统—直流（或交流）伺服电机，形成闭环控制系统，达到要求的位移精度。 滚珠丝杠副驱动 一般的数控系统是伺服电机通过滚珠丝杠副驱动机床滑板或工作台。 目前，大多数超精密加工机床仍采用精密滚珠丝杠副作为进给系统的驱动原件。 滚珠在丝杠和螺母的螺纹槽内滚动，摩擦力很小。 丝杠螺距误差、丝杠螺母配合间隙等均影响进给运动的平稳性。 滚珠丝杠副驱动 液体静压和空气静压丝杠副驱动 由于滚珠丝杠副驱动丝杠螺距误差、丝杠螺母配合间隙等会影响进给运动的平稳性。现在有使用液体静压和空气静压丝杠以提高进给运动平稳性。 效果好，结构复杂、成本高，目前，应用不多。 液体静压和空气静压丝杠副驱动 摩擦驱动 为了进一步提高运动平稳性和运动精度，现在有些超精密机床的导轨驱动使用摩擦驱动。经试验证明：效果优于滚珠丝杠副驱动 。结构复杂、成本高。 国外已有几台大型超精密机床的导轨驱动使用摩擦驱动，据报道机床导轨的直线运动非常平稳，直线运动精度极高。 摩擦驱动 第六节 微量进给装置 高精度微量进给装置是超精密加工机床的一个重要关键装置，目前分辨率达到1 nm。 作用：可实现准确、稳定、可靠和快速微量位移。 高精度微量进给。 超薄切削。 在线误差补偿。 精密调整、对准、校正等。 微量进给装置应满足的要求 微量进给和粗进给应分开，以提高微位移精度、分辨率和稳定性 运动部分应是低摩擦、高稳定，以实现高的重复精度。 末级传动元件刚度高 ，如金刚石刀夹处。 微量进给装置机构内部连接可靠，尽量采用整体结构或刚性连接