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2017-05-19 发布于北京
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3.4 电容式传感器 3.4.1 电容式传感器的工作原理 3.4.2 电容式传感器主要性能 3.4.3 电容式传感器的特点 3.4.4 电容式传感器的应用 3.4.1 电容式传感器的工作原理 1. 工作原理及类型 2. 变极距型电容传感器 3. 变面积型电容传感器 4. 变介电常数型电容式传感器 1. 工作原理及类型 2. 变极距型电容传感器 3. 变面积型电容传感器 4. 变介电常数型电容式传感器 3.4.2 电容式传感器主要性能 1. 静态灵敏度被测量缓慢变化时传感器电容变化量与引起其变化的被测量变化之比 2. 非线性 2. 非线性 3.4.3 传感器的特点优点: 1. 温度稳定性好（电容值与电极材料无关本身发热极小） 2. 结构简单、适应性强 3. 动态响应好 4. 可以实现非接触测量、具有平均效应动态响应好极板间的静电引力很小，需要的作用能量极小可测极低的压力和力，很小的速度、加速度。可以做得很灵敏，分辨率非常高，能感受0.001mm甚至更小的位移可动部分可以做得很小很薄，即质量很轻其固有频率很高，动态响应时间短，能在几兆赫的频率下工作，特别适合动态测量。介质损耗小，可以用较高频率供电系统工作频率高。它可用于测量高速变化的参数，如测量振动、瞬时压力等。缺点： 1、输出阻抗高、负载能力差传感器的电容量受其电极几何尺寸等限制，一般为几十到几百皮法，使传感器的输出阻抗很高，尤其当采用音频范围内的交流电源时，输出阻抗高达106～108?。因此传感器负载能力差，易受外界干扰影响 2、寄生电容影响大传感器的初始电容量很小，而传感器的引线电缆电容、测量电路的杂散电容以及传感器极板与其周围导体构成的电容等“寄生电容”却较大，这一方面降低了传感器的灵敏度；另一方面这些电容(如电缆电容)常常是随机变化的，将使传感器工作不稳定，影响测量精度差动技术的运用减小非线性误差提高传感器灵敏度减小寄生电容的影响温度、湿度等环境因素的影响 3.4.4 电容式传感器的应用 (1) 电容式差压传感器 (2) 电容式加速度传感器 (3) 电容式振动位移传感器 * * 上一页下一页返回上一页返回下一页 S ——极板相对覆盖面积； ??? d ——极板间距离； ??? εr——相对介电常数； ??? ε0——真空介电常数，； ??? ε ——电容极板间介质的介电常数。 d S ε 上一页返回下一页变极距(d）型: (a)、(e) 变面积型(S)型: (b)、(c)、(d)、(f)、(g) （h）变介电常数(ε )型: （i）～(l) 上一页返回下一页非线性关系若△d/d1时，则式（3.4.3）可简化为若极距缩小△d 最大位移应小于间距的1/10 差动式改善其非线性初始电容上一页返回下一页当动极板相对于定极板沿着长度方向平移时，其电容变化量化为 △C与△x间呈线性关系上一页返回下一页电容式角位移传感器当θ=0时当θ≠0时传感器电容量C与角位移θ间呈线性关系上一页返回下一页初始电容电容式液位传感器电容与液位的关系为：上一页返回下一页可见C∝h 当εr1=1，L=0时，初始电容当被测电介质进入极板间L深度后，引起电容相对变化量为电容变化量与电介质移动量L呈线性关系上一页返回下一页上一页返回下一页变极距型，其静态灵敏度为将上式展开成泰勒级数得但d过小易导致电容器击穿(空气的击穿电压为3kv/mm) 在极间加一层云母片(击穿电压103kv/mm)或塑料膜来改善电容器耐压性能差动结构也可提高灵敏度上一页返回下一页平板式变面积型 b △a a b d kg 减小d 、加云母片、增大b、采用差动结构可提高灵敏度上一页返回下一页变极距型将上式展开成泰勒级数得 d 取值不能大，否则将降低灵敏度上一页返回下一页采用差动形式，并取两电容之差为输出量差动式的非线性得到了很大的改善，灵敏度也提高了一倍如果采用容抗作为电容式传感器输出量被测量与d 成线性关系无需满足上一页返回下一页上一页返回下一页返回上一页返回下一页上一页返