国立交通大学机械工程学系.doc

國立交通大學機械工程學系 桌上型掃描式電子顯微鏡 (SEM/EDS系統) 開放使用服務及收費辦法 101.11.13經費與空間委員會訂定 101.11.14系務會議訂定103.06.18經費與空間委員會修訂 服務項目：SEM/EDS系統（Phenom ProX）(1)SEM：樣品結構觀察(2)EDS：樣品表面元素成分定點定性定量分析 開放時間：（SEM/EDS）週一至週五(上班日) 9 : 00 ~ 22: 00  （鍍金機） 週一至週五(上班日) 9 : 00 ~ 16: 30 儀器地點：EE 511 聯絡方式 ： 儀器管理人：機械系 劉克正 技士 Tel﹕(03)5712121 ext 55148 E-mail﹕ kjliu@.tw　 儀器負責人：機械系 鍾添淦 助理教授Tel﹕(03)5712121 ext 55116 E-mail﹕tkchung@.tw 儀器設備商：璟騰公司 Tel﹕（O）02-8911-1370劉伯駿 先生0920-908301 E-mail﹕ jimmy671027@ 收費辦法： 一、自行操作： (1) SEM/ EDS：使用費每小時150元，以小時為單位計費。鍍金機：使用費每分鐘300元，以分鐘為單位計費，不足1分鐘仍以1分鐘計費，白金鈀材由本系提供。； 通常每次都鍍1min~1.5min；約5~10nm表面鍍膜厚度 (2)每年統計各老師累計之使用費，並自本系分配各教師之業務費或設備費（原則上業務費不足額時，則逕扣教師類推之經費順序【設備費、管理費、技術服務費】等）扣款。 (3)開放對象：限本系師生且需經通過考核認証後，可取得自行操作之資格。 二、委託操作： (1) SEM/ EDS： 使用費每小時500元，至少3小時起計，並以小時為單位計費。鍍金機：使用費每分鐘500元，以分鐘為單位計費，不足1分鐘仍以1分鐘計費，白金鈀材由本系提供。 (2)自本校單位業務費扣款。 (3) 開放對象：校內其他單位及系內尚未取得自行操作之資格者，均一律委託操作；特殊試片須經機台保管人及負責教師之同意予否委託操作，以避免污染腔體保護機台之安全。  系統開放等級A級：可預約時間自行操作。博碩班學生經參加過儀器商教育訓練並 通過認證考核後取得種子教官操作資格。 各實驗室之種子教官畢業離校前，可自行培訓所屬實驗室之種子教 官並通過系上核可後，向系辦劉先生申請登錄替補種子教官資格名 單。 B級：可預約時間自行操作。博碩班學生經A級種子教官教育訓練、 接受儀器商錄影教育訓練並通過系上核可後取得操作資格。C級：系外委託服務，由A級人員或技術人員操作，委託時段為另行 擇時約定。 儀器操作預約使用申請須知 為避免特殊使用情形，導致儀器設備損壞，本系有審核及拒絕申請使用之權利。1. 上述A級、B級申請人需為博碩班學生，經指導教授同意並通過考核後 取得自行操作資格；未取得操作資格前，嚴禁自行操作。 2. 使用者須先取得機械系SEM預約使用申請表之核可文件後，至系辦劉 先生辦理登錄機械系SEM預約時段登記表及門禁，未經取得上述核可 文件及預約時段前，嚴禁擅自操作使用SEM。 3. 欲預約使用或取消預約者至少須於 一 天（不含例假日）前通知本系，違者除將予停權 1 個月處分，而未到爽約者仍以原預約時段付費。如有違反上述1.及2.項規定情事者，將予停權三個月處分；若有毀損器材者須負無條件修復及照價賠償之責。 試片準備：【未符合以下條件者，恕不受理並嚴禁使用】 ** 請自備導電膠帶 **(1) 樣品大小：直徑小於25mm，高度小於30mm (2) ** 須將試片表面與Detector之工作距離調整於至少2mm以上 **(3) 待測樣品應為固態材料且應具有足夠的機械強度，以避免在進出 SEM或在檢測的過程中，發生剝落、碎裂的狀況。 (4) 樣品須充分乾燥不得含有水氣。 (5) 樣品須確實黏著於碳膠帶或銅膠帶上，並須使用3M、TED PELLA或其他同 等級之優質品牌膠帶，以避免污染Detector及Chamber。使用完畢後並須將 Stub所貼之膠帶清除乾淨。 (6) 非磁性之粉體樣品，須確實貼附於銅或碳膠帶上或予鍍金，並使用高壓空氣 清潔後始得置入SEM。 (7) 不得為揮發性物質。 (8) 不得為低熔點的材料，會產生相變及蒸鍍效應之樣品(例：銦、錫等)。 (9) 不得為在電子束照射下會分解或釋出氣體且礙及真空之樣品，例如有機物、 高分子或鐵磁性粉末樣品等。 (10) 不得為具強磁性、磁性或易被電磁透鏡吸引的粉末形式樣品，例如鐵、鈷、