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等离子体清洗技术 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 等离子体清洗技术 一、等离子体简述 二、等离子体清洗 三、等离子清洗技术展望 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 一、等离子体简述 物质六态 常见而又稀少的固液气三态 宇宙中广泛存在的第四态——等离子体 物质第五态——超级大原子 物质第六态——费米凝聚态 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 一、等离子体简述 等离子体 也称为“超气体”或“电浆体”，是一种中性、高能量、离子化的气体，包含中性原子或分子、带电离子和自由电子。 等离子体是具有高位能动能的气体团，等离子体的总带电量仍是中性。 等离子体和普通气体的最大区别是它是一种电离气体，但没有确定形状和体积，具有流动性。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 一、等离子体简述 常见的等离子体及其应用 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 一、等离子体简述 等离子体分类 1、按等离子体的温度分类： a 高温等离子体:温度在10~10K时完全电离 b 低温等离子体 2、按等离子所处的状态分类： a 平衡等离子体:气压比较高，电子温度与气体温度大致相等 b 非平衡等离子:体常压或低压，电子温度远高于气体温度 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 二、等离子体清洗 传统的湿法清洗 典型的为RCA清洗工艺，使用化学品（SC-1、 SC-2 、piranha溶液等）和超纯水 存在缺点： 1.不能精确控制 2.清洗不彻底，需要反复清洗 3.引入新的杂质 4.残余物处理困难 5.消耗大量酸和水 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 二、等离子体清洗 新出现等离子体干法清洗被考虑为湿法清洗的主要替代。 干法等离子体技术用来去除有机光刻胶(灰化)，在集成预处理步骤去除自然氧化层，气体与等离子体能量化学反应，达到去污目的。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 二、等离子体清洗 辉光放电 通过在混合气体中施加直流电压或者射频（RF）范围内使用交流电都可以产生辉光放电。 当施加电能时，混合气体中的自由电子被加速，穿过混合气体，然后与原子或分子相撞，在碰撞过程中释放出附加的电子。 高能电子与中性原子或离子相撞并激发它们。这些受激发的原子或离子存在的时间很短，当它们返回其最低能级时，能量以发射声子（或光）的形式释放。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 二、等离子体清洗 等离子体清洗的分类 根据反应类型分为： 物理反应（溅射SPE或离子铣IM）：活性粒子轰击待清洗表面，使污染物脱离表面最终被真空泵吸走 化学反应:活性粒子与表面杂质反应生