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- 2017-05-20 发布于四川
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一次清洗目录 1 引言 2 原理概述2.1 清洗2.2 去机械损伤层 2.3 制绒 3 工艺相关 3.1 单晶工艺 3.2 多晶工艺 4 注意事项及安全相关 1 引言 1 引言 一次清洗工序包括了三个过程,分别是硅片的清洗、去除机械损伤层和制备绒面。清洗渗透在整个工序的多个环节,去除机械损伤、制绒的过程也是对硅片的清洗过程。 2.1.1 硅片主要污染源分类 有机物污染油脂(食用油、人体分泌的油脂等)矿物油(润滑油、泵油、凡士林、蜡等) 无机物污染金属及其氧化物 灰尘、微小颗粒 2.1.2 污染的危害 有机物残留在硅片表面,影响制绒的出绒率,容易产生白斑等,导致电池片外观不良。 硅片表面如果有金属杂质,扩散时会进入硅片内部,使少子寿命下降,还会导致漏电流增加。 去损伤层和制绒都使用氢氧化钠溶液,引入了钠离子。钠离子如果残留在硅片表面,可能会形成反型层,严重影响电池性能。 2.1.3 污染物的处理方法 对于较大的颗粒和可溶污染物,可以通过冲洗将其去除。 对于有机物,可以通过有机溶剂(如IPA)或者清洗剂将其洗去;或者利用碱洗将其减少。 对于不溶于水的污染物,需要通过化学方法,将其转变成溶于水的化合物或者络合物,再用大量纯水清洗将其去除。 2.1.4 去除污染物的主要手段 电池生产中去除污染物的主要手段 超声波清洗去除灰尘、有机物污染。 氢氧化钠、硅酸钠
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