962-线切割单、多晶硅机床砂浆液调配的研究与在线粘度计(黏度-砂浆粘度-硅片切割液-碳化硅微粉).pdf

线切割单、多晶硅机床砂浆液调配的研究 侯贺① 李金杰② ①大连连城数控机器有限公司，辽宁大连116036; ②大连机床集团有限责任公司，辽宁大连116020 线切割机对硅片切割能力的强弱，与砂浆的粘度有着不可分割的关系。而砂浆的粘度又取决于硅片 切割液的粘度、硅片切割液与碳化硅微粉的适配性、硅片切割液与碳化硅微粉的配比比例、砂浆密度 等。只有达到机器要求标准的砂浆粘度，才能在切割过程中提高切割效率和成品率。 砂浆粘度;硅片切割液;碳化硅微粉 TH140.7 B Researchonmixofthelinecuttinglist,thepolycrystallinesiliconenginebedmortarfluid HOU HeLIJinjie 悬浮 双轴转台分度误差检测与辨识技术 高秀峰① 孙璐② ①沈阳机床 （集团）设计研究院有限公司，辽宁沈阳110142 ②沈阳铁路局沈阳通信段，辽宁沈阳110020 以自行研发的小规格五轴联动加工中心为例，分析了双轴转台的各项误差。简单介绍了Renishaw 回转轴测量系统的构成、工作原理，并详细说明了利用该系统检测A轴与C轴分度误差的方法。利 用该方法在我公司的五轴联动加工中心样机上对双轴转台进行分度误差检测，实践证明该方法具有 检测精度高、检测重复性好、检测效率高等优点。 双轴转台;分度误差; 激光干涉仪;检测 TG502.1 B Technologyofpositioningerrorsdetectionandidentificationfor2-axistilting-rotarytable GAOXiufengSUN Lu @@[1]王文斌.机械设计手册[M].北京：机械工业出版社，2008. @@[2]李保军.硅单晶锭多线切割中砂浆作用的研究[J].半导体技术， 2007，32(6). 侯贺，男，1984年生，助理工程师，主要 从事机床设计工作。 2011-05-13 “高档数控机床与基础制造装备”科技重大专项：高速/复合数控机床及关键技术创新能力平台(2011ZX04016-021) 线切割单、多晶硅机床砂浆液调配的研究 作者： 侯贺， 李金杰， HOU He， LI Jinjie 作者单位： 侯贺,HOU He(大连连城数控机器有限公司,辽宁大连,116036)， 李金杰,LI Jinjie(大连机床集团有限责任 公司,辽宁大连,116020) 刊名： 制造技术与机床 英文刊名： Manufacturing Technology Machine Tool 年，卷(期)： 2011(9) 参考文献(2条) 1.王文斌 机械设计手册 2008 2.李保军 硅单晶锭多线切割中砂浆作用的研究[期刊论文]-半导体技术 2007(06) 引用本文格式：侯贺.李金杰.HOU He.LI Jinjie 线切割单、多晶硅机床砂浆液调配的研究[期刊论文]-制造技术与机床 2011(9)