光学表面中频误差对光刻物镜短程杂散光影响分析_杨旺.pdf

第 卷 第 期 ， ３３ 　 ９ 光 学 学 报 Ｖｏｌ．３３ Ｎｏ．９ 　 　 　 年 月 ， ２０１３ ９ Ｓｅｔｅｍｂｅｒ ２０１３ ＡＣＴＡ ＯＰＴＩＣＡ ＳＩＮＩＣＡ ｐ 　 　 　 光学表面中频误差对光刻物镜短程杂散光影响分析 ， １２ １ １ １ 杨 旺 黄 玮 许伟才 尚红波 　 　 　 　 　 １ ， 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室 吉林长春 １３００３３ （ ２ ， ） 中国科学院大学 北京 １０００４９ ， ， 摘要 研究了光学表面中频误差对杂散光的影响规律 提出使用功率谱密度函数描述表面中频误差 并通过该描 　 ； 。 ， 述方法进行杂散光分析 同时利用等效光瞳空间频率对表面中频误差进行公差分析 利用以上方法 对工作波长 、 ， 为 １９３ｎｍ 数值孔径为 ０．７５的光刻物镜进行元件表面中频公差分析 当要求在２ １０ ｍ 范围内的杂散光强度占 ～ μ ， ， 。 比小于 时 中低频等效光瞳空间频率界限为 中高频等效光瞳空间频率界限为 当元件表面功率谱曲 ０．５％ １６ ７８ ， 。 线指数取 时 功率谱密度系数小于 的元件表面满足杂散光要求 结果表明该方法可以有效分析光学系 １．５ ０．０６ 统杂散光和元件表面中频公差。 ； ； ； ； 关键词 光学设计 杂散光 功率谱密度 公差分析 光刻物镜 　 中图分类号 文献标识码 ： ／ Ｏ４３９ Ａ ｄｏｉ １０．３７８８ＡＯＳ２０１３３３．０９２２００１ 　 　　　 　 　　　 Ａｎａｌ ｓｉｓｏｆＭｉｄ Ｓ ａｔｉａ