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JEM 100 CX II真空系统维修案例一 张康 2016.3.2 目录 一、JEM 100 CX II真空系统简介 二、故障描述 三、排查过程 四、维修过程 五、总结 一、JEM 100 CX II真空简介 JEM 100 CX II真空系统包含机械泵两台，油扩散泵两台（循环水系统），空压机一台，皮拉尼规四个，缓冲罐两个，电磁阀若干，真空管及接口若干。 主要参数： 真空度要求：10-5Pa 空压机压力：3-5kg/cm2 机械泵：10-3Pa 扩散泵10-2——10-7Pa（冷阱可进一步提高真空度和抽气速率，可选） 皮拉尼规真空度：10-2Pa——10-5Pa 正常抽气流程 第一阶段：初始阶段 1.打开循环水和电源后，空压机首先开始工作； 2.空压机压力达到3.8kg/cm2后，机械泵开始工作； 3.V11，V24，V14，V16指示灯亮，表示RP1，RP2正在抽缓冲罐1，缓冲罐2，底片室，样品交换仓； 4.同时A面板DP灯亮，表示DP处于加热状态。 第二阶段：粗抽阶段 1.V14切换至V25，V10亮，表示RP2开始抽镜筒粗真空，V11，V24，V16继续亮，表示RP1持续抽DP1，DP2前级真空； 2.至A面板HIGH灯亮为止，表示镜筒， DP，皮拉尼规前级真空均已抽好，且DP加热完毕，将开始细抽。 第三阶段：细抽阶段 1.自HIGH灯亮开始，表示 DP开始细抽镜筒真空。 2.V8，V7，V23灯亮，表示DP2正在抽观察室，DP1正在抽镜筒和阳极室。 3.最后亮的灯是V4，V1以及A面板READY，表示整个真空系统抽气过程完毕，镜筒处于高真空状态，可以开始加高压。 二、故障描述 1.开始的故障是真空抽得比较困难，比平时时间延长很多，且时能抽上时不能。 2.空压机压气效率下降且有较大噪声。 3.逐渐发现电磁阀处有放气的声音，且越来越大。 4.完成初始抽气阶段后，一直停在V10灯亮这一步，无法继续向下进行。 5.放气现象越来越严重，起初以为是镜筒主动放气，后发现放气速率渐渐大过空压机压气速率，当空压机压力小于3kg/cm2时，机械泵停止工作，整个真空系统停机。 初步判断 总体描述：真空系统启动困难，粗真空抽不上，但DP加热正常，表示前级压力无法达到要求—— 但无法判断是下列问题的哪一种： 空压机压缩效率问题 机械泵抽气效率问题 V7，V8，V23阀门问题 皮拉尼规探头问题。 三、排查过程 一般排查顺序： 1.检查供电电路 2.检查循环水 PD加热后要有循环水将温度控制住稳定 3.检查相关气管连接接口 4.检查关键部位O圈 水平放置和垂直放置不同 5.检查机械泵泵油（半年换），皮带 6.检查扩散泵加热板，扩散泵泵油 7.检查空压机油，放空压机积水 8.寻找漏气部位 9.检修阀门 10.检查真空检测探头 基本检查完成，并无异常 且电镜电磁阀门处漏气声音明显，故迅速判断故障部位。 难点在于14个阀门在一起，无法确定到底是哪个阀门故障。 且由于之前对真空系统理解不到位，未能充分了解空压机在这之中的作用，故给排查带来较大麻烦。 四、维修过程 方案一：用另一台100 CX II的电磁阀逐个替换故障电镜的阀门，看故障是否排除，若排除则可确定某个电磁阀损坏。 尝试结果：逐个替换过程繁琐，且发现并不是某一个阀门的故障，而可能是几个。 方案二：堵住一排电磁阀的总出口，减小漏气速率，维持机械泵工作，若能切换至下一个状态，则可将范围缩小至RP，DP之间的3,4个阀门。 尝试结果：无法完全堵住漏气处，无法维持系统内压力。 方案三：逐个排查电磁阀。尝试维修电磁阀。 电磁阀原理： 不通电情况下，整个阀封闭，S处进气，但其他气口不出气； 通电情况下，电磁端子被吸出，S处进的气将阀顶至工作位置，此时气流从S至CI,E2至C2 当再度断电，整个阀门回位，此时电磁端子内的弹簧将气阀顶至初始位置，气流不通 发现故障：不该通气时放气严重 拆卸视频 清洗检修过程： 先擦洗原有油脂 泡在酒精里清洗2-3次 重新涂抹油脂 组装并测试 在不通电情况下，降S进气口通气，如果各个气口都不出气，表示正常。如有漏气，表示阀内密封不严。 小插曲： 所有阀门均以以上方法清洗检测过一边，确认均不漏气，却发现真空仍然抽不上。 经仔细检查发现： 1.重装的时候有两个阀门的气管插反 2.V25电线焊接不牢 五、总结 知识扩充： 空压机在整个真空系统中的作用 缓冲罐是真空气路的最重要枢纽之一 更进一步摸清各个阀门及气管的连接情况 未尽问题 真空模块供电 真空规工作及检修 谢谢！ * 空压机：开关一样的东西，其实关键作用是对S口起到支撑作用，要始终顶着阀门里面的进气孔，才能保持气路畅通。 * * 空压机：开关一样的东西，其实关键作用是对S口起到支撑作用，要始终