第02章-集成电路工艺介绍.pdfVIP

半导体制造技术导论（第二版） 第二章 集成电路工艺介绍 白雪飞 中国科学技术大学电子科学与技术系 提纲 • 集成电路工艺简介 • 集成电路的成品率 • 无尘室技术 • 集成电路工艺间基本结构 • 集成电路测试与封装 • 集成电路未来发展趋势 2 集成电路工艺简介 集成电路制造工艺流程 集成电路制造工艺流程 4 集成电路的成品率 成品率的定义 • 晶圆成品率 完好晶圆数目 = 晶圆总数 • 晶粒成品率 完好晶粒数目 = 晶圆上的晶粒总数