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采用TEOS和H_2O源PECVD方法生长氧化硅厚膜(英文).pdfVIP

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  • 2017-05-21 发布于浙江
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采用TEOS和H_2O源PECVD方法生长氧化硅厚膜(英文).pdf

    采用TEOS和H_2O源PECVD方法生长氧化硅厚膜(英文)

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