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光掩膜技术基础 2008年04月19日 瞿立成 2008-4-18 1 关于《光掩膜技术》一书 概 况 2006年12月15日初版，内容共7章、323页。 曾任（株）日立制作所武藏工厂Mask课长、 田边 功 HOYA（株）八王子工厂长等 曾任（株）日立制作所主任技师、 作 者 竹花 洋一 HOYA（株）八王子工厂长等 曾任（株）日立制作所部门负责人、 法元 盛久