一种基于0.35μm CMOS工艺的单片集成微机械陀螺仪接口电路.pdf

第 9期 电 子 学 报 、r0J．42 No．9 2o14年9月 ACrAELE(ITR0NICASINICA Sep． 2014 一 种基于 0．35mCMOS工艺的单片集成 微机械陀螺仪接 口电路 罗旭程，冯 军 (东南大学射频与光电集成电路研究所，江苏南京210096) 摘 要：本文介绍了一种用于读取角速度信号的单片集成微机械陀螺仪接 口电路，该接 口电路采用了相关双采 样技术以抑制 1／f噪声和运算跨导放大器的失调．为了方便系统仿真和测试，本文设计了一种微机械陀螺仪的等效电 路 ．该接lYl电路采用0．35ranCMOS工艺设计并制造，芯片总面积为 1．09mm×0．87mm．后仿真结果表明，该接口电路能 达到0．58aF的电容分辨精度 ，动态范围达 99．7d