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中国科技论文在线 铁电薄膜材料的制备工艺及应用研究 李甜，康爱国，邢玉凯，杨毅彪* （太原理工大学理学院，太原 030024） 摘要：近年来，随着薄膜制备工艺的不断突破以及微电子、光电子、微电子机械等对铁电材 料小型化、薄膜化、集成化的要求，铁电薄膜材料已引起研究者们的热点关注。文章综述了 铁电薄膜的制备工艺及其典型应用，并简要分析了铁电薄膜不同制备工艺的优缺点。 关键词：铁电薄膜；制备工艺；铁电存储器 中图分类号：O 484 Preparation Process and Application of Ferroelectric Thin Film Li Tian, Kang Aiguo, Xing Yukai, Yang Yibiao (College of Science, Taiyuan University of Technology,TaiYuan 030024) Abstract: Recently,