微机电系统的研究及其应用.pdfVIP

Harbin Institute of Technology 机电工程新技术 大作业 （1） 题 目：微机电系统的研究及其应用 院 系： 机电工程学院 姓 名： 孙晓磊 学 号： 1130810517 哈尔滨工业大学 2016 年11 月25 日 微机电系统的研究及其应用 摘 要：微机电系统是源于微电子加工技术，融合了微机械制造、传感及微控制于一体的系统。其特征尺 寸极小，学科交叉广泛。学科分类涵盖了机械、力学、光学、流体、电磁学、生物学等各领域， 在民品和军品领域有许多热点应用。本文概述了微机电系统(MEMS)的发展历史及基本技术原理， 介绍了MEMS 技术在航空航天、医药卫生、光学器件、微能源等方面的应用情况，并对其以后的 发展作出展望。 关键词：微机电系统；MEMS ；微纳技术 1 微机电系统发展概况 微机电系统(Micro Electro Mechanical Systems，简称MEMS)是通过微制造技术将机 械单元、传感器、执行器件和电子元件整合到一片微基板上的系统装置。这种新兴的机电系 统为传统机械科学的发展指明了一个重要的前进方向。微机电系统的概念起源于 1959 年美 国物理学家、诺贝尔奖获得者Richard.P.Feynman 提出的微型机械的设想，其后1962 年出 现了第一个硅微压力传感器。1988 年，世界上第一个硅微型静电电机诞生在美国加州大学 伯克利分校，该电机直径仅为(60～120)μm，为世人瞩目，由此产生了世界微机电系统技术 研究的一个阶段性标准。1989 年，NSF(National Science Foundation)在研讨会的总结报 告中提出了 “微电子技术应用于电子、机械系统”。自此，MEMS 成为一个新的学术用语。美 国的研究是在半导体集成电路工艺技术基础上扩展而来的，称之为 MEMS。与此同时，我国 的研究人员在科技部、国家自然基金委，教育部和总装备部的资助下，追踪国外的微型机械 研究，积极开展MEMS 的研究。现有的微电子设备和同步加速器为微系统提供了基本条件， 微细驱动器和微型机器人的开发早已列入国家863 高技术计划及攀登计划中。已有近40 个 研究小组，取得了一些研究成果。广东工业大学与日本筑波大学合作，开展了生物和医用微 型机器人的研究，已研制出一维、二维联动压电陶瓷驱动器，其位移范围为10μm×10μm, 位移分辨率为0.01μm，精度为0.1μm。长春光学精密机器研究所研制出直径为3mm 的压电 电机、电磁电机、微测试仪器和微操作系统。上海交通大学研制出直径2mm 的电磁电机。南 开大学开展了微型机器人控制技术的研究等。 2 微机电系统关键技术 MEMS 工艺技术研究中有 3 大主流技术，即以美国为代表的硅微机械加工技术、日本以 精密加工为特征的微加工技术和德国的LIGA 技术。此外，电子溅射加工(EDM)，衬底结合和 光刻技术在MEMS 制造中也有广泛应用。针对不同的应用背景，有时多种工艺同时应用于MEMS 制造中。 2.1 硅微机械加工技术 硅基微机械加工技术源于集成电路加工技术，将传统的集成电路加工技术由二维平面加 工发展成为三维立体加工技术，其最关键的加工工艺主要包括体微加工技术、表面牺牲层技 术和键合技术等。硅基微机械加工技术利用化学腐蚀或集成电路工艺技术对硅材料进行加 工，形成硅基MEMS 器件，已成为目前MEMS 的主流技术。 体微机械加工是重要的MEMS 加工技术之一。在体微机械加工过程中，腐蚀衬底内部的 部分材料形成独立的机械结构，或者一些独特的三维结构。根据腐蚀剂的不同，体硅腐蚀技 术分为湿法腐蚀和干法刻蚀，即采用液态化学腐蚀剂的湿法腐蚀工艺，采用气态和等离子态 1 的干法腐蚀工艺。体微加工工艺的优势在于可获得较大几何尺寸的MEMS 结构，机械性能好，