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* 等厚干涉 当一束平行光入射到厚度不均匀的透明介质薄膜上 当 i 保持不变时,光程差仅与膜的厚度有关,凡厚度相同的地方光程差相同,从而对应同一条干涉条纹--- 等厚干涉条纹。 明纹和暗纹出现的条件为: 明纹 暗纹 如果让平行光垂直入射膜面,光程差公式简化为: 楔形薄膜(劈尖):薄膜的两个表面是平面,其间有很小夹角。 …… 楔形薄膜干涉条纹的特征 (1)明、暗条纹处的膜厚: 一系列明暗相间的、平行于棱边的平直条纹。 (2)相邻明纹(或暗纹)所对应的薄膜厚度之差 相邻明纹(或暗纹)所对应的薄膜厚度之差相同。 hm hm+1 ?h ? 明纹 暗纹 (3)两相邻明纹(或暗纹)的间距 结论: a.条纹等间距分布 b.夹角?越小,条纹越疏;反之则密。 ? ?h 明纹 暗纹 ?h ? (4)动态变化 (5)复色光入射得彩色条纹 整体平行提升,条纹移向棱边(厚度小的方向) ? ? 楔形薄膜干涉条纹 白光入射 单色光入射 肥皂膜的等厚干涉条纹 例1 在半导体元件生产中,为了测定硅片上SiO2薄膜的厚度,将该膜的一端腐蚀成劈尖状,已知SiO2 的折射率n =1.46,用波长? =5893埃的钠光照射后,观察到劈尖上出现9条暗纹,且第9条在劈尖斜坡上端点M处,Si的折射率为3.42。试求SiO2薄膜的厚度。 Si SiO2 O M 解:由暗纹条件 h = (2m+1)? /4n ΔL= 2nh = (2m+1)? /2 (m=0,1,2…) 可知,第9条暗纹对应于m=8,代入上式得 = 1.72(?m) 所以SiO2薄膜的厚度为1.72 ?m。 半波损失?? 例2 为了测量金属细丝的直径,把金属丝夹在两块平玻璃之间,形成劈尖,如图所示,如用单色光垂直照射 ,就得到等厚干涉条纹。测出干涉条纹的间距,就可以算出金属丝的直径。某次的测量结果为:单色光的波长? =589.3nm,金属丝与劈间顶点间的距离L=28.880mm,30条明纹间的距离为4.295mm,求金属丝的直径D? L D 解 相邻两条明纹间的间距 其间空气层的厚度相差为?/2于是 其中?为劈尖的角度,因为? 很小,所以 代入数据得 . S 分束镜M 显微镜 o 牛顿环 装置简图 平凸透镜 平晶 牛顿环:一束单色平行光垂直照射到此装置上时,所呈现的等厚条纹是一组以接触点O为中心的同心圆环。 牛顿环 1 牛顿环实验装置及光路 2 光程差的计算 ΔL= 2h + ? /2 h A 1 2 h是半径的函数 3 牛顿环干涉条纹的特征 (1) 明暗条纹的判据 r R h 0 由几何关系可知 (R–h)2+r2=R2 h = r2/2R R2 - 2Rh + h2 + r2=R2 3 牛顿环干涉条纹的特征 r=0,m =0 中心是暗斑 …… 3 牛顿环干涉条纹的特征 (2) 相邻暗环的间距 内疏外密 3 牛顿环干涉条纹的特征 牛顿环干涉是一系列明暗相间的、内疏外密的同心圆环 白光入射的牛顿环照片 (3)动态反应 h?缩入;h?冒出 连续增加薄膜的厚度(定点提升), 视场中条纹 h R ? ? (提升)各圆环均向中心点收缩而渐次“吞没”;(降低)各圆环渐次从中心 “吐出” (提升或降低)各点引起的光程差变化均是相同的,故任意点(r固定)处条纹的间距并不改变,即条纹疏密保持不变 3 牛顿环干涉条纹的特征 *
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