二次压电效应的研究及利用其原理设计微驱动器的探析.pdfVIP

_______________________________________________________________________________ 二次压电效应的研究及利用其原理设计微驱动器的探析 史丽萍，孙宝元，钱敏 （大连理工大学机械工程学院传感测控所，大连 116023） 摘要：应用四类压电方程推导了二次压电效应理论公式，并使用压电石英晶体通过能量的角度验证了该公 式。以22 片石英晶片叠堆构成被测晶组进行了二次压电效应的实验。理论与实验均表明，石英晶体从正压 电开始的二次压电效应所产生的形变与施加在其上面的外力有良好的线性关系，并依此提出了利用二次压 电效应原理设计微驱动系统的观点。 关键词：石英，二次压电效应，微驱动，边界条件 中图分类号： O738 文献标识码：A Investigation of the secondary piezoelectric effect and its application to design micro-drive system SHI Li-ping，SUN Bao-yuan ，QIAN Min (Institute Sensing Control ，Dalian University of Technology ，Dalian 116023，China) Abstract: In this paper, the theory of the secondary piezoelectric effect is deduced by four kinds of piezoelectric equations, and then from the viewpoint of conservation of energy it is theoretically verified by using piezoelectric quartz. Experimentally with a measuring cell composed by a pile of 22 pieces of quartz disc the secondary piezoelectric effect is verified. The theoretical and experimental results both show that the displacement of deformation caused by the secondary piezoelectric effect from direct piezoelectric effect is linear with a force applied. This research will provide a new method for designing a micro-drive system. Key words：quartz ，secondary piezoelectric effect ，micro-drive ，boundary condition 自 1880 年发现石英晶体具有压电效应以 1 理论分析 来，由于石英具有相当优良的机电品质，人们对 1.1 基本压电方程 其压电特性进行了系统而全面的研究，其中主要 电介质的压电效应涉及到电学和力学行为 是以一次压电效应为主，而二次压电效应的研究 之间的相互耦合。压电效应分为正、逆两种效应。 尚处于初级阶段。 其正压电效应为 本文通过改变边界条件，用四类压电方程[1] D d T （1） 推导了二次压电效应的解析表达式，并基于压电 m mj j