纳米计量技术研究及其进展.pdfVIP

2∞5年(第四眉)中田蚋米科技西安研讨会论文集 20惦the4ta aIi眦畿Syn巾妇an N岫ee＆Teehaolold ii Inl_墨_置薯薯葺鼍簟葺_薯—宣_薯__—薯_葺眷薯薯薯薯薯皇高嗣离掌置嗣麓嗣警置 纳米计量技术研究及其进展 张利民何宝林 (上海市计量测试技术研究院， 200233) 捕要：本文提出了纳米计量与标准化研究的主要内容，概述了十·五期间在我院的主要研究进展，用计量、标准和数 。 据来支持纳米科技和产业化的发展是我们的目标和任务。 关键词：纳米技术；计量；标准化；标准物质；方法 0引言 自从八十年代发明扫描隧道显微镜(STM)，得到了物质表面原子和分子的结构和实时样品的离分辨图像．0．1nm至 100nm尺度范围的微小物质就成为人们研究对象。随后蓬勃发展起来的扫描探针显微镜族n1、各种分析仪器和测量新 技术使纳米科技从来没有像现在受到如此强烈的兴趣和关注，人们在广泛的领域探索“纳米现象”，并试图操纵原子和分 子构建想要的、有特殊功能的材料、器件或产品，显然在纳米科技的各个领域中研究纳米尺度、物质形态、化学成份、 物相结构和理化特性的测量和表征具有特别重要的意义Ⅲ。 由于纳米粒子结构单元的尺度与物质中的许多特征长度，如电子的德布罗意波长、超导相干长度、隧道贯穿势 垒厚度、铁磁性临界尺寸和原子的直径等相当，导致了纳米材料和结构的物理、化学特性介于微观原子、分子和宏观 物体之间，因此纳米测量与表征是纳米科技重要组成部分，具有广泛的概念、丰富的内涵和特殊性。 根据国家计量技术规范的定义，计量是关于测量的科学；是实现单位统一、量值准确可靠的活动；计量是与测量结 果的置信度和不确定度相联系的规范化的测量；尽管测量有时也称计量，但在技术要求和法制管理上具有不同于一般 测量的特点。纳米计量学属基础性的前沿科学，是科学计量的重要组成部分。它将为纳米领域发现新现象、研究新方 法和创造新技术提供技术支持。 l纳米计量与标准化研究的主要内容 根据国内外发展概况的调研口】，目前尚无纳米尺度的国际和国家标准，有少量涉及纳米尺度测量方法的ISO标准， 尚处于探索和发展的初级阶段。从较严格计量学意义和标准化体系来考虑，纳米计量与标准化研究可能主要包括如下 内容： 1．1纳米长度计量标准的研究与建立 纳米长度是最主要的基本物理量。1-100nm范围内长度计量标准装置可由具有原子分辨力的扫描探针显微镜和激 光干涉微位移测量系统组成，量值溯源到以米为单位的激光波长标准H】。用于超精密加工中线宽、台阶、膜厚、节距 (ID)和网格(2D)的测量，纳米长度标准会包括研制多种形式和结构的格子和套模等，超光滑表面粗糙度和表面轮廓仪 等测量也是重要的应用。特别是利用激光汇聚原子沉积新技术研制超精细纳米微结构传递标准【51是当前最重要的进 展。 1．2纳米材料颗粒度的测量 扫描探针显微镜是测量纳米粒子的重要工具，但取样量十分有限，难以表征粒径分布，也不能测定气态和液态 ·656· 橱釉拳鳢放 ·-■7^■■■日■I●蚺●T■aH口I蛔 ’ 2005年(第四届)中田纳米科技西安研讨会论文集 2005the 4恤Chinese On SymposiumNanoscience＆Technology 计数仪等仪器获得粒径、粒径分布和粒子浓度及相关参数的详细信息，通过标准物质(如聚苯乙烯小球)溯源到纳米尺 度标准砸1，建立纳米和亚微米范围的液态和悬浮态粒度计量标准，比表面积和孔隙度也是重要的参数之～ 1．3标准参考物质的研制 标准物质是具有准确的特性量值、高度均匀性和良好稳定