制绒辅助剂RN-008产品介绍.pdf

上海尧能 多晶硅酸制绒辅助剂 RN-008 化学 产品简介 化学 产品的开发背景： 制绒的目的是为了去除机械损伤层，减少表面复合；以及降低反射率增加短路电 流。而目前常规的酸腐蚀的方式制绒对硅片的反射率降低有限，制绒后的反射 率仍较高，为此本公司开发了制绒辅助剂RN-008来解决该问题。 产品的作用： RN-008的作用是控制绒面大小和成核密度，使得制绒后硅片表面的陷光效果 更好，反射率更低。 产品适用范围： RN-008适用于HNO3 –HF的酸制绒体系。 制绒辅助剂RN-008的组成及功能 化学 组成 功能 水 溶剂 控制反应速率，增加成 抑制剂 核密度 表面活性剂 帮助抑制剂溶解 制绒辅助剂RN-008的主要成分为水、抑制剂、表面活性剂，对人体及环境无害， 无需增加额外的防护以及污水处理。 与传统酸制绒工艺对比 化学 工艺参数对比： 传统工艺 制绒辅助剂工艺 HF 8-10% 8-10% 配槽 HNO3 30-40% 30-40% 制绒辅助剂 - 0.5-0.6% HF 0.5L/200片 0.5L/200片 补液 HNO3 0.5L/300片 0.5L/300片 制绒辅助剂 - 0.12-0.15L/1000片 温度 3-8°C 3-15°C 反应温度 带速 1.2-1.5m/s 1.2-1.5m/s 制绒辅助剂工艺的HF/HNO3配槽浓度和补液频率与传统工艺一样，无需改动， 只需比传统工艺在配槽/补液时增加制绒辅助剂，温度的控制范围更广，工艺 窗口更宽。 制绒辅助剂RN-008的使用 化学 使用方法： 1） 制绒槽： 初配：初配按照常规初配，也可以使用旧液来做（旧液最好没做过返工片）， RN-008初 配按0.5-0.6% （体积比）添加。 补加：补加频率0.12-0.15L/1000片（为了工艺控制的更加稳定，可以适当提高补液频 率 ）。补加频率也可以根据反射率的变化去调整，当反射率升高时，可以适当提高补液 频率或补液量。 2） 碱槽： 初配：碱槽初配浓度按10%配置，若使用旧液在工艺开始之前建议向碱槽补加5LKOH 3） HF/HCL槽： 初配：混酸槽初配按照HF 10%, HCl 15%配置，若使用旧液在工艺开始之前建议