原料检验标准.doc

原生多晶硅原料检验标准 规 格： 纯度：≥99.9999% 颗粒状硅料粒度范围为1 mm～结构应致密无色班、变色，无可见的污染物和氧化的外表面项目（一） 太阳能级多晶硅等级指标（一） 1级品 2级品 3级品 基磷电阻率Ω·㎝ ≥100 ≥40 ≥20 基硼电阻率Ω·㎝ ≥500 ≥200 ≥100 少数载流子寿命μs ≥100 ≥50 ≥30 氧浓度atoms/cm3 ≤1.0×1017 ≤1.0×1017 ≤1.5×1017 碳浓度atoms/cm3 ≤2.5×1016 ≤4.0×1016 ≤4.5×1016 项目（二） 太阳能级多晶硅等级指标（二） 1级品 2级品 3级品 PPba ≤1.5 ≤3.76 ≤7.74 受主杂质浓度PPba ≤0.5 ≤1.3 ≤2.7 少数载流子寿命μs ≥100 ≥50 ≥30 氧浓度atoms/cm3 ≤1.0×1017 ≤1.0×1017 ≤1.5×1017 碳浓度atoms/cm3 ≤2.5×1016 ≤4.0×1016 ≤4.5×1016 基金属杂质 mw Fe、Cr、Ni、Cu、ZnTMI(Total metal impurities)总金属杂质含量：≤0.05 Fe、Cr、Ni、Cu、ZnTMI(Total metal impurities)总金属杂质含量：≤0.1 Fe、Cr、Ni、Cu、ZnTMI(Total metal impurities)总金属杂质含量：≤0.2 注1：基体金属杂质检测可采用二次离子质谱、等离子体质谱和中子活化分析等测量 注2：每个等级的产品应该同时满足本等级的要求，若有指标超出、则等级降低一等 块状、棒状多晶结构应致密。 多晶硅免洗或经过表面清洗，都应使其达到直接使用要求。所有多晶硅的外观应无色班、变色，无可见的污染物和氧化的外表面。Ω.cm P型＞5Ω.cm 2.3规格尺寸 单块埚底料尺寸必须大于2厘米（非线性） 边皮/头尾料 1、外观检验 1.1块状边皮/头尾料为规则的形状。 1.2边皮/头尾料表面应无氧化夹层、杂质、色斑、变色，无目视可见的污染物。 1.3边皮/头尾料的表面经酸腐蚀后表面应无色斑、变色、无可见的污染物（石墨、石英片、胶等）。 2、指标检验 2.1型号检验：N型、P型； 2.2电阻率检验： 最低电阻率作如下分类： N型＞10Ω.cm P型＞1Ω.cm 2.3规格尺寸 单块边皮/头尾料尺寸必须大于2厘米（非线性）