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Sentaurus演示
Micro-Nano Electronic Device
and
Intergration Research Center
Sentaurus讲解
楼海君
2011.09.19
Peking University Shenzhen Graduate School Shenzhen, Guangdong, China
Micro-Nano Electronic Device
and
Intergration Research Center
提 纲
Sentaurus 简介
Sentaurus 各模块介绍
Sentaurus 器件模拟流程演示
Sentaurus 代码详细介绍
Micro-Nano Electronic Device
and
Intergration Research Center
提 纲
Sentaurus 简介
Sentaurus 各模块介绍
Sentaurus 器件模拟流程演示
Sentaurus 代码详细介绍
Sentaurus 简介
Synopsys公司最新发布的TCAD工具命名为Sentaurus TCAD,它是Synopsys公司收购
瑞士ISE(Integrated Systems Engineering)公司后发布的产品,Sentaurus TCAD全面继
承了ISE TCAD, Medici和Tsuprem4 的所有特性及优势,它包含众多的组件,主要由
Sentaurus Device, Sentaurus Process, Device Editor, Workbench等模块构成。
Sentaurus Device模块; Sentaurus Process模块;
Device Editor模块; Workbench模块
SenTaurus Device整合了Avanti 的Medici、TaurusDevice及ISE的DESSIS 器件物理特
性级仿真工具, 充实并修正了诸多器件物理模型, 推出了新的器件物理特性分析工具
SenTaurus Device 。
Sentaurus Process 整合了:
⑴Avanti 公司的TSUPREM系列工艺级仿真工具(Tsuprem ⅰ、Tsuprem ⅱ、
Tsupremⅲ只能进行一维仿真,到了第四代的商业版Tsuprem4能够完成二维仿真模
拟);
⑵Avanti公司的Taurus Process 系列工艺级仿真工具;
⑶ISE (Integrated Systems Engineering)公司的ISE TCAD工艺级仿真工具Dios
(二维工艺仿真)FLOOPS-ISE (三维工艺仿真)Ligament (工艺流程编辑)系列工
具,将一维、二维和三维仿真集成于同一平台。
Micro-Nano Electronic Device
and
Intergration Research Center
提 纲
Sentaurus 简介
Sentaurus 各模块介绍
Sentaurus 器件模拟流程演示
Sentaurus 代码详细介绍
Sentaurus各模块介绍
Sentaurus Workbench (SWB)
出现。。。
主要用到:
其他模块
Sentaurus Structure Editor
介绍
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