单光源双光路激光并行共焦测量系统策画.pdfVIP

第21卷第2期 光学精密工程 V01．21No．2 andPrecision 2013年2月 0ptics Engineering Feb．2013 文章编号 1004—924X(2013)02一0281一06 单光源双光路激光并行共焦测量系统设计 余 卿H，余晓芬2，崔长彩1 (1．华侨大学机电及自动化学院，福建厦门361021； 2．合肥工业大学仪器科学与光电工程学院，合肥安徽230009) 摘要：针对传统激光并行共焦测量过程中存在的泰伯效应，提出将数字微镜器件(DMD)引入激光并行共焦测量系统来正确 辨识正焦面的位置。采用了DMD作为光分束器件，从理论上验证了它是一种投影式的阵列光源，对激光分束后不会在光 路方向上产生泰伯像；同时，考虑DMD不能对分束后的光线产生会聚作用，并非高效的并行光源分束器件，本文将DMD 与微透镜阵列(MLA)结合构建了单光源双光路并行共焦测量系统。该系统利用DMD光路探测正焦面位置，利用微透镜 阵列光路进行精确的共焦测量。实验结果表明，两种光路下的正焦面位置仅相差2“m，在一个泰伯间距范围之内，可以较 好地克服泰伯效应对激光并行共焦测量的影响，进而保证较高精度的并行共焦测量。 关 键 词：数字微镜器件；微透镜阵列；泰伯效应；激光并行共焦测量系统 文献标识码：A doi：10．3788／0PE0281 中图分类号：TN247；TH703 of laser confocalmeasurement Des运n para¨el system with sourceanddualbeam single paths YU Xiao—fen2，CUI Qingh，YU Chang—cai a行d 102 1，C^i，z口； (1．CoZZ89Po，MPf^n咒icnfE，29幻哩P8ri竹gA“￡D，72以￡i072，H“口qi口oL砌i到Prsi￡∥，Xi日mP九36 2．Sc^ooZ o厂I朝s≠r“me行￡Scie咒f已nnd()pfo一已Z已f￡ro门icsE咒ginPeri竹g， 230009，C矗i靠口) HP^iLki勘er5i￡yo厂Tec^竹oZogy，HP厂Pi 63．fo对2 *(为r，．8s夕。行di挖g以雒￡矗o，．，．B7雅口主Z：歹orsD押．y@1 avoidtheTalboteffectthatisa inthetraditionallaser confocal Abstract：To multiple imaging parallel introducesa Micromirror