真空泵操作说明.pdfVIP

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真空泵操作说明.pdf

合肥科晶材料技术有限公司 真空泵VRD 系列 使用说明书 合肥科晶材料技术有限公司 HEFEI KEJING MATERIALS TECHNOLOGY CO.,LTD. 网址: 电子邮箱: kmt@ sales@ Tel :055165593658Fax:0551 地址: 合肥市蜀山区科学院路 10 号 .合肥科晶材料技术有限公司 邮编:230031 合肥科晶材料技术有限公司 目录: 一、 产品概况2 二、 安装4 三、 接线6 四、 真空系统连接7 五、 运转7 六、 维护9 七、 保修原则10 1 合肥科晶材料技术有限公司 请不要将泵倒置,也不要让泵体受到冲击,否则会使泵体遭受破坏 1、产品概况 VRD系列真空泵是属于高速直联(电机直接驱动)双极旋片油封(油密封)式变容 真空泵,其泵体采用整体式结构设计,内置齿轮油泵设计,油泵压力控制系统,油液循 环过滤系统,低噪音NSK轴承及完善的润滑密封结构设计,不同掺气量的气镇阀设计, 流畅的外观设计。 该泵的结构设计合理,安全可靠,抽速大,极限真空度高,低噪音,不喷油,不 漏油,维修方便,造型美观大方,是经全球客户验证的高可靠性真空泵。 1.1用途及使用范围 VRD系列真空泵是真空应用领域中最基本的高真空获得设备,特别适用于需要获得 高极限真空低噪音的环境的科研、教学、实验室、分析仪器、医疗器械、真空镀膜等不 同真空应用领域。 VRD真空泵可作为中、低真空系统的主轴泵,也可作为罗茨泵、扩散泵、分子泵等 中高真空、超高真空系统的前级泵。 1.2结构原理 VRD系列真空泵为双极直联旋片式真空泵,产品以高可靠性、低噪音和高极限真空 度为设计定位,通过采用世界最先进的整体式泵体结构设计,同时具有不同渗气的气镇 阀设计使得产品在不同使用环境中保持高可靠性。 图 1 1、出线口 2、接线盒盖 3、接线盒 4、进气口 5、气镇 6、排气口 7、注油塞

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