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真空泵操作说明.pdf
合肥科晶材料技术有限公司
真空泵VRD 系列
使用说明书
合肥科晶材料技术有限公司
HEFEI KEJING MATERIALS TECHNOLOGY CO.,LTD.
网址： 电子邮箱： kmt@ sales@
Tel ：055165593658Fax：0551
地址: 合肥市蜀山区科学院路 10 号 .合肥科晶材料技术有限公司 邮编:230031
合肥科晶材料技术有限公司
目录：
一、 产品概况2
二、 安装4
三、 接线6
四、 真空系统连接7
五、 运转7
六、 维护9
七、 保修原则10
1
合肥科晶材料技术有限公司
请不要将泵倒置，也不要让泵体受到冲击，否则会使泵体遭受破坏
1、产品概况
VRD系列真空泵是属于高速直联（电机直接驱动）双极旋片油封（油密封）式变容
真空泵，其泵体采用整体式结构设计，内置齿轮油泵设计，油泵压力控制系统，油液循
环过滤系统，低噪音NSK轴承及完善的润滑密封结构设计，不同掺气量的气镇阀设计，
流畅的外观设计。
该泵的结构设计合理，安全可靠，抽速大，极限真空度高，低噪音，不喷油，不
漏油，维修方便，造型美观大方，是经全球客户验证的高可靠性真空泵。
1.1用途及使用范围
VRD系列真空泵是真空应用领域中最基本的高真空获得设备，特别适用于需要获得
高极限真空低噪音的环境的科研、教学、实验室、分析仪器、医疗器械、真空镀膜等不
同真空应用领域。
VRD真空泵可作为中、低真空系统的主轴泵，也可作为罗茨泵、扩散泵、分子泵等
中高真空、超高真空系统的前级泵。
1.2结构原理
VRD系列真空泵为双极直联旋片式真空泵，产品以高可靠性、低噪音和高极限真空
度为设计定位，通过采用世界最先进的整体式泵体结构设计，同时具有不同渗气的气镇
阀设计使得产品在不同使用环境中保持高可靠性。
图 1
1、出线口 2、接线盒盖 3、接线盒 4、进气口
5、气镇 6、排气口 7、注油塞
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