INTRODUCTIONTOBIO-MEMSNEMS-电子科学与技术系.PDF

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2017-05-26 发布于天津
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INTRODUCTIONTOBIO-MEMSNEMS-电子科学与技术系

2016-12-13 MEMS设计与加工简介一、绪论 INTRODUCTION TO BIO- 二、MEMS中的材料 MEMS/NEMS 三、MEMS制造四、先进MEMS工艺丁卫平五、MEMS应用实例电子科学与技术系网址：六、最新MEMS发展电子邮件：wpdings@ 办公室：科技楼东楼 403/416 先进MEMS工艺 LIGA工艺 • EFBA工艺及应用 X-ray lithographie+Galvanoformung+Abformtechnik • 基于单晶SiC的MEMS传感器 • 基于X射线的加工 X射线光刻电镀模压 LIGA工艺 DXRL工艺辐射(光刻) LIGA基本流程 1969 Romankiw等透掩模版电镀技术显影 1970 Romankiw等薄膜磁记录头电镀 1975 Spiller等 X射线光刻与电镀淀积 1982 Ehrfeld等塑料模压工艺剥模。。。金属模具金属成品充模脱模塑料模具塑料成品电镀/浇铸