光电子能谱(XPS)课程.ppt

注意事项 严格遵守实验室管理规章制度； 刻蚀前一定要检查Analyzer：0eV，X射线枪为standby或off，荷电中和枪off； 对未知是否导电的样品，应先开荷电中和枪，再开X射线枪； 时刻注意仪器的真空状态，尤其在开各种枪时的真空： X射线枪 ： SAC优于1×10-8Torr 荷电中和枪 ：SAC优于1×10-8Torr （如果通有气体另外） 离子枪： STC优于5×10－6 Torr ，SAC优于1×10－7 Torr （在SAC腔内通有氩气时的真空） UV源： SAC-STC阀打开，优于5×10－8 Torr （在SAC腔内通有氦气时的真空） FEG枪： 小离子泵真空优于5×10－10 Torr e) 真空操作：如开关某阀，要切记真空操作原理，勿导致破真空或返油,切勿将带溶剂、浮尘松散或生物样品放入真空。 五、谱图分析 谱线种类： 光电子谱线 Auger线（动能不随激发源变化，用于辅助分析如Ag、Zn价态分析） X射线的卫星伴线（非单色化X射线）