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涡轮分子泵-兰州飞行控制有限责任公司
涡轮分子泵
产品简介:
分子泵是一种高真空和超高真空获得设备。该设备依靠高速旋转叶片将
动能传递给处于分子流状态的空气分子，使其获得较大的动能而增强运动
能力，通过逐级抽取在较短的时间内获得超高真空。
分子泵作为较清洁的高真空获得设备之一，广泛的应用于表面分析、加
速器技术、等离子体技术、电真空器件的制造以及真空技术的各个领域。
技术参数:
F100/110涡轮分子泵技术参数表
指标名称 指标值
抽气速率（l/s） 110
压缩比 8 2
N :10 ；H :5×10
2 2
-6 -7
极限压强（Pa） ≤6×10 ①; ≤6 ×10 ②
排气口法兰 KF25(DN25 ISO-KF)
进气口法兰 LF100(DN100 ISO-K)、CF100
轴承 进口轴承
额定转速（r/pm） 42300
启动时间（min） ＜2
振动值（μm） ≤0.1
建议前级泵（l/s） 2
充油量（ml） 2×6
安装方式 垂直或水平
冷却方式 风冷 （水冷）
冷却水温度（℃） ≤25
泵体烘烤温度（℃） ≤100
环境温度（℃） 5-40
重量（kg） 8
FF200/1200复合分子泵技术参数表
指标名称 指标值
抽气速率（l/s） 1200
压缩比 9 4
N :10 ；H :1×10
2 2
极限压强（Pa） ≤5×10
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