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双温方程用于飞秒激光烧蚀金属的模拟分析_陈安民
42 8 Vol. 42 ,No. 8
第 卷 第 期 激光与红外
2012 8 LASER & INFRARED August ,2012
年 月
:1001-5078 (2012)08-0847-05 · ·
文章编号 激光应用技术
双温方程用于飞秒激光烧蚀金属的模拟分析
, , , ,
陈安民 姜远飞 刘 航 金明星 丁大军
( , 1300 12)
吉林大学原子与分子物理研究所 吉林长春
:
摘 要 讨论了双温模型在不同近似下的电子热传导率对于模拟飞秒激光烧蚀金属过程中靶
,
材的电子温度和晶格温度分布的影响 用有限差分法对飞秒激光脉冲烧蚀金属靶的过程的温
,
度场进行了一维数值计算 以铜靶为例给出了靶材电子与晶格温度分布随时间和深度的演化
,
规律并进行了分析 结果表明不同近似下电子热传导率对于模拟温度分布计算结果有着重要
的影响。
: ; ; ;
关键词 激光烧蚀 电子热传导率 双温模型 金属薄膜
中图分类号:TN249 ;O437 文献标识码:A DOI :10. 3969 /j . issn. 1001-5078. 2012. 08. 001
Numerical simulation of femtosecond laser ablation
by two-temperature model
CHEN An-min ,JIANG Yuan-fei ,LIU Hang ,JIN Ming-xing ,DING Da-jun
(Institute of Atomic and Molecular Physics ,Jilin University ,Changchun 130012 ,China)
Abstract :In this paper ,the effects of the electron temperature and lattice temperature distribution are discussed in
different approximation electron thermal conductivity by two-temperature model during the femtosecond-laser ablation
metal process. A one-dimensional numerical calculation for the temperature field of femtosecond pulse laser ablation
metal target is performed by finite difference method. The copper target is given as an example of the electron and lat-
tice temperature distribution with the e
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